:: 진공에 대해 알려주마.

설비를 다루면서 예상치 못했던 이상현상에 대해 기록한다. 알고 나면 어이없을 수도 있으나 처음에는 상당히 당황하게 된다. 여기 내용이 조금이나 당신에게 도움이 되었으면 한다. CDG Voltage hunting 진공 챔버에서 CDG는 APC에 연결되어 사용된다. 특정한 압력을 만들기 위해 챔버에 gas를 흘리고 APC엣 원하는 압력을 전달하면 APC는 CDG의 값을 읽어 APC의 valve의 열림과 닫힘을 조정하여 압력을 조정하게 된다. 셋업 중 APC를 통해서 CDG의 들어온 값이 미친X 널뛰듯(좋은 말은 아니나 현상을 가장 효율적으로 표현하는 것 같아 적어본다) 한다. Maint를 위한 다른 통신 채널을 사용하여도 증상은 동일했다. RF를 사용하지도 않았는데 이러한 현상이 발생한다. 우선 RF Noi..

TwinCAT 내가 사용하는 모델은 TwinCAT-2 시리즈이다. 최근에 TwinCAT-3가 출시되었고 MS의 Visual studio의 개발 환경을 사용한다고 한다. 아래 모델은 현재 설비에 적용되어 사용 중인 두 가지 CX모델이다. TwinCAT I/O Module을 이용한 I/O System을 구성하거나 거기에 PLC를 추가 구성하여 PC와 PLC에서 각각 별개로 I/O를 제어할 수 있다. 보통의 경우 반도체/디스플레이 설비에서는 PC로 설비를 제어하고 PLC로 interlock 또는 motion 제어를 한다. Interlock은 최종 출력을 내보내기 전에 각종 조건을 확인하고 출력을 I/O Module에 활성화할지를 결정한다. 반도체/디스플레이 설비 분야에도 많이 사용되고 있으며 각각의 모듈을 엮..

INDEXER 진공설비(Dry etcher)를 셋업 하면서 글라스를 loading해 주는 인덱서 셋업도 지원하였다. 현장에서는 Phase별로 통신 규격이 조금씩 달라 이걸 해결 하기 위하여 테스트를 진행 후 사이클을 진행 중이다. Display 분야에서 indexer는 카세트에서 Glass를 한 장씩 꺼내 설비에 투입하는 장치 전체를 이르는 말이다. 아래 동영상에서는 5.5세대 사이즈로 1300x1500mm 정도이다. 내가 주력으로 했던 설비는 8세대로 2200x2500mm이다. 인덱서는 반도체의 EFEM역할이다. 카세트에 담겨 온 glass를 정해진 순서에 의해 설비에 투입하는 장치이다. 반송 로봇이 핵심 장치이고 나머지는 별로 기능이 없다. 화면 앞에 움직이는 장치는 glass의 표면에 먼지를 제거하..

PLASMA내가 아는 플라스마(Plasma)는 단순 빛이다. 모든 것이 준비된 챔버에 필요한 가스를 흘려 넣고 RF Generator를 켜면 챔버에 밝은 빛이 발생한다. 가스와 RF의 출력에 따라 색깔과 밝기가 다르긴 하지만 파스텔톤의 밝은 빛이다.     프라즈마 이론은 아래의 사이트에 아주 잘 설명되어 있다.https://m.blog.naver.com/jgw1030/221171512475이 빛을 이용하여 기판에 미세한 구멍을 내거나 표면을 깎아내면 Etching, Target의 표면을 뜯어내 기판에 입히면 Sputter, 그리고 가스의 반응을 가속시키는 일도 한다. 여기서는 식각을 주로 이야기하겠다. 프라즈마를 이용하여 식각에 사용되는 단위는 Å (Ångström, 옹스트롬)이고 1 옴스트롬은 아래와..

이설(移設) : 다른 곳으로 옮기어 설치 어떠한 산업이든 설비를 처음 생산하여 설치하고 일정 기간을 사용하다 수명을 다하거나 목적이 완료되면 설비를 폐기 혹은 다른 곳으로 옮겨 또 다른 목적을 위해 사용된다. 이 과정에서 또 다른 거대한 시장이 형성된다. 생산 라인 전체를 이설 하게 되면 수십억에서 많게는 수천억의 비용이 든다. 또한 수천 명의 이원이 이설에 관여하게 되고 수년간의 이설과 셋업이 진행된다. 생산 라인의 전원을 차단하고 배관과 케이블을 분리하여 보관하고 한 대씩 반출하여 포장하고 차로 배로 목적지까지 옮기게 된다. 목적지에 도착하면 다시 반입하고 도킹하고 배관과 케이블을 설치하고 유틸리티 켜고 전기 켜고 원래 상태로 만들기 위해 작업을 시작하게 된다. 내가 하는 일이 여기서 원래 상태로 만..

업계의 After market 정보 얼마 전까지 I사에서 반도체 설비, 디스플레이 설비를 주문받아 설계하고, 파츠 선정이 되면 장치를 제어하는 디바이스 드라이버를 만들고 제어 시퀀스를 테스트하고 화면을 보다 편하게 구성하고 시운전과 현장 셋업과 고객 요청을 처리하거나 개선하는 신규 설비 제작을 주로 맡아해 왔다. 회사를 나오고 프리랜서로 일을 시작하니 설비 해외 이설을 소개받게 되었고 한참을 이설 관련 작업을 진행하게 되었다. 한국의 S사에서 생산 라인을 전부 중국 회사로 이설하고 기존과 같이 생산을 원하는 것이다. 이런 설비의 백업은 설비의 경험이 있는 엔지니어를 주축으로 한다. 기존에 설비를 생산에 참여했거나 고객사에서 해당 설비를 운용해 본 경험이 있는 사람들을 섭외하여 진행하게 된다. 백업 중 가..

지금은 프리랜서로 중국 출장 중이다. 전에 회사에 소속되어 있었던 때에 시안, 동관, 청두 등 반도체 및 디스플레이 공장에 출장을 간 적이 몇 차례 있었다. 지금은 프리랜서로 다시 청두에 와 있다. 청두에는 벌써 7번째다. 작년에 청두 시내 북서쪽의 B사 근처에 있는 중국 회사에 이설 설비 백업을 위해 몇 차례 방문했었고, 지금은 남쪽의 T사에 와 있다. 코로나로 한국의 출장 인원이 전부 철수한 후 중국으로 부터 특별 비자가 발급되어 다시 입국하게 되었다. 한국에서 출발전 PCR 검사 1회, 청두 도착 후 공항에서 PCR 1회, 혈액검사 1회, 호텔에 2박 격리 후 음성이 확인되자 T사 근처의 호텔에 다시 격리, 여기서 PCR 검사와 CT촬영 후 결과는 음성인데도 14일간 격리 후 마지막 날 다시 PCR..

반도체 공정에서는 대기 중에서 많은 공정이 이루어지지만 생각보다 많은 설비가 진공을 사용한다. 챔버나 용기의 진공 상태를 만들거나 유지하기 위하여 사용되는 펌프를 진공 펌프라 한다. 왜 진공을 유지해야 하는지는 주변 공정 엔지니어에게 물어보라. 여기서는 공기와 공기 중 부유물 모두가 이물질로 취급한다.우리가 사는 대기를 물이라 생각하면 쉽다. 반도체 공정에서는 물이 없는 곳에서 여러 종류의 특수한 물만으로 공정을 진행하고 싶은 것이다. 여기에 가장 기본이 용기 안의 물을 뽑아내는 진공펌프 인것이다. 물을 뽑아 제거하고 사용하고자 하는 특수한 물을 일정하게 흐르도록 하는 압력을 낮추는 역할을 한다. 다양한 진공 펌프를 사용하고 있으나 가장 대표적인 것이 저 진공 펌프인 dry pump와 고진공 펌프인 TM..

DRY-ETCHER (드라이 에쳐, 건식 식각 장치) 내가 가장 많이 다룬 설비가 드라이에쳐 이다. 반도체와 디스플레이용 제어 프로그램을 개발하였다. 주로 공정 챔버용 제어 프로그램을 개발하였다. 설비의 핵심은 공정 챔버다. 디스플레이 쪽에서는 글라스 반송 업무(물류)도 중요한 업무로 보고 있다. 200mm 반도체 제조 공정용 dry etcher를 시작으로 하여 display의 대면적 dry etcher까지 크기, 공정, TACT 등의 확장을 거듭하여 발전하였지만 제품 생산을 위한 공정의 기본은 거의 유사하다. 양산용 진공 설비는 진공을 사용하는 장비가 가지는 가장 기본적인 클러스터 구조(Cluster system)를 가진다. 공정 챔버가 진공을 유지함으로 진공 반송 장치와 대기와 진공을 손쉽게 하여 공..

요즘 학교에서 코딩 교육을 한다고 한다. 아두이노를 기반으로 한 마이크로컨트롤러와 센서를 연결하고 여기에 프로그래밍하여 원하는 기능을 수행토록 하는 것이다. 아두이노는 마이크로 컨트롤러를 사용하고 센서를 연결하고 마이크로 컨트롤러에 프로그램을 다운로드하여 기능을 수행하게 된다. 여러가지 교육용 센서들이 있어 어떠한 환경을 인식할 것인지를 결정하고 그에 해당하는 센서를 연결하고 마이크로 컨트롤러에 프로그램으로 해당 센서에서 값을 가져와 처리하면 된다. 인터넷 상에 굉장히 많은 예제가 있어 이를 응용하여 원하는 기능을 구현할 수 있다. 또한 라즈베리파이는 싱글보드 컴퓨터이다. 싱글보드 컴퓨터는 한개의 보드로 구성된 컴퓨터 메인 보드이다. 여기에 모니터, 키보드, 마우스, 전원을 연결하면 말 그대로 컴퓨터가 ..