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목록진공/장비 (4)
:: 진공에 대해 알려주마.
AOI(Automated Optical Inspection)우리 업계에서 AOI(자동광학검사) 장치는 어떻게 사용되는가?우리 주변에서 흔하게 사용되는 장치중 AOI와 유사한 장치는 아파트 입구에 있는 자동차 번호판 인식 장치가 되겠다. 자동차의 번호판을 찍고 해당 이미지에서 자동차 번호판을 인식하고 거기에서 문자와 숫자를 인식하여 문자 화하는 것이다. 이를 서버에 전달하여 등록된 차량인지를 확인하고 문을 열게 된다. AOI와 유사하게 동작하며 문자(숫자)만 읽어내는 기능을 가지고 있어서 이런 종류를 OCR(Optical Character Recognition)이라 부른다.AOI는 위에서 설명한 OCR은 문자만 인식하여 판독하는 과정과 비슷하게 동작한다. 문자 대신에 패턴을 인식하여 동일한지, 상이한지, ..
가정용 감압밸브 https://hivac.tistory.com/38 아래의 사진은 반도체 제조 설비에 가스를 공급하기 위해 거쳐야 하는 압력 조절기(regulator)의 모습니다. 모두가 같은 기능을 하는 장치지만 외부에 연결되는 피팅의 다름으로 다양한 형태를 가지게 된다. 설비에서 Regulator를 사용하는 이유는 설비내의 장치에게 일정한 압력으로 가스는 공급하기 위해서다. Regulator를 사용하지 않고 MFC등에 가스를 바로 공급하는 경우 MFC 등의 장치가 제대로 된 성능을 발휘할 수 없다. 그렇게 되면 결국 최종 공정에 문제가 발생할 것이다. 설비에서 가스를 공급하기 위해서 거쳐야 하는 장치는 다음과 같다. 수동밸브 : 완전 수동 밸브를 가스의 공급 여부를 선택한다. 레귤레이터 : 가스의 압..
by BOT반도체 혹은 디스플레이 업계에서 장비 제조를 시작하여 어느 정도 규모로 성장하게 되면 가장 걸림돌이 되는 부분이 제어 부분이다.많은 회사들이 장비 개발을 위하여 설계, 전장, 제어 그리고 공정으로 업무를 분장하게 된다. 가장 큰 역할을 하는 것은 역시 설계업무이다. 하드웨어가 구성이 되어야 그 나머지도 존재하게 되기 때문이다. 하드웨어 설계는 초기에 가장 많은 업무 로드(load)가 발생하지만 고객사 납품 후 설비가 안정화될수록 업무가 줄어들기 마련이다. 전장 업무는 있는지 없는지 중요한 것 같으면서도 아닌 것 같기도 하고 가장 비중이 낮은 업무일 수 있으나 없어서는 안 될 부분이기도 하다.제어는 설비 설계 초기 부터 무언가 바쁘게 하는데 성과는 없고 장비 따라 나가더니 복귀할 생각은 안 하고..
1. ETCH PROCESS Etch process는 구성된 막을 균일하게 또는 PR로 마스킹된 패턴을 깎아 내는 작업을 진행하는 공정이다. 반도체, 디스플레이에서 Etch process는 아래 애니메이션의 구조를 가진다. 여기에 RF를 어떻게 구성하느냐에 따라 여러 가지 이름으로 불리지만 기본 구조는 거의 유사하다. 반도체서는 웨이퍼(200mm, 300mm 등)를 디스플레이에서는 글라스(2세대, 5세대, 7세대, 8세대)의 공정을 진행하기 위하여 크기에 따른 챔버를 구성하고 고진공을 위한 TMP(Turbo-Molecular Pump)와 Pressure 제어가 가능한 APC(Automatic Pressure Controller)등으로 Vacuum system을 이루게 된다. 고진공 펌프는 TMP, CRY..