진공에 대해 알려주마.

가정용 감압밸브 https://hivac.tistory.com/38 아래의 사진은 반도체 제조 설비에 가스를 공급하기 위해 거쳐야 하는 압력 조절기(regulator)의 모습니다. 모두가 같은 기능을 하는 장치지만 외부에 연결되는 피팅의 다름으로 다양한 형태를 가지게 된다. 설비에서 Regulator를 사용하는 이유는 설비내의 장치에게 일정한 압력으로 가스는 공급하기 위해서다. Regulator를 사용하지 않고 MFC등에 가스를 바로 공급하는 경우 MFC 등의 장치가 제대로 된 성능을 발휘할 수 없다. 그렇게 되면 결국 최종 공정에 문제가 발생할 것이다. 설비에서 가스를 공급하기 위해서 거쳐야 하는 장치는 다음과 같다. 수동밸브 : 완전 수동 밸브를 가스의 공급 여부를 선택한다. 레귤레이터 : 가스의 압..

MFC (Mass Flow Controller) Part-1 https://hivac.tistory.com/16 양산 설비에 사용되는 초정밀, 고사양 MFC와 용도는 같으나 일반에서 사용되는 MFC가 있다. 다르게 이야기하면 고급형과 보급형이라 표현할 수 있다. 고급형은 전공정 양산 설비에 많이 사용되는 모델로 신뢰성이 높고 이미 많은 설비에서 검증된 제품이다. Celerity, Brooks, MKS사의 모델이 여기에 해당된다. 물론 수백만 원의 고가이다. 하지만 새로 시장에 진입하는 MFC Maker의 경우는 처음부터 양산 설비에 사용하기에는 모험이 따른다. 초기에는 연구용, 비양산 설비 혹은 양산의 후공정 설비에 채택이 되고 어느 정도 신뢰가 쌓이면 전공정까지 진출할 수 있다. 이러한 제품 중에 국내..