MFC Part-2

MFC (Mass Flow Controller) Part-1
https://hivac.tistory.com/16

양산 설비에 사용되는 초정밀, 고사양 MFC와 용도는 같으나 일반에서 사용되는 MFC가 있다. 다르게 이야기하면 고급형과 보급형이라 표현할 수 있다. 

고급형은 전공정 양산 설비에 많이 사용되는 모델로 신뢰성이 높고 이미 많은 설비에서 검증된 제품이다. Celerity, Brooks, MKS사의 모델이 여기에 해당된다. 물론 수백만 원의 고가이다.

하지만 새로 시장에 진입하는 MFC Maker의 경우는 처음부터 양산 설비에 사용하기에는 모험이 따른다. 초기에는 연구용, 비양산 설비 혹은 양산의 후공정 설비에 채택이 되고 어느 정도 신뢰가 쌓이면 전공정까지 진출할 수 있다. 이러한 제품 중에 국내에서 생산되는 몇 가지 종류가 있다. Atovac社, VSYS社가 이러한 제품군에 해당된다고 본다. 

검증된 외산 MFC는 당연히 이름값을 하며 국내의 후발 주자의 제품은 시장의 인지도가 적은 상태라 설비에 적용하기가 쉽지 않다. 대신 가격이 가장 큰 장점이다.

국내의 제품을 오랫동안 사용하지는 못해 정밀도와 내구성을 확인하지는 못했지만 외산 MFC도 초기에 많은 문제가 있었으며 고장도 잦은 편이어서 애도 많이 먹었다. 

최초의 Digital MFC(Analog에서 serial 통신으로 전환된 최초의 MFC)라고 불리던 UNIT의 8161 MFC도 초기에 통신 문제로 상당히 고생을 많이 했다. 통신 문제를 해결하기 위하여 UNIT 본사의 Digital MFC 개발 엔지니어를 전부 불러 모아 미팅을 진행한 적도 있다. 국내의 MFC Maker도 시간과 경험이 쌓일수록 분명 좋은 품질의 MFC가 나올 것이다.

UNIT-8161 MFC (출처 mytps.co.kr)

 

이번에 사용한 MFC는 AtoVac社의 MFC AFC500과 MFC Controller AMC60 이다. Aanlog MFC와 이 MFC를 제어할 수 있는 1 채널 flow controller이다.

챔버에 O2 Gas를 일정량 flow 시켜 챔버의 압력(Pressure)을 높이기 위한 것으로 정밀한 사양을 요구하지 않았으며 최소한의 비용으로 요청하였다.

가장 최근에 사용한 DeviceNet 타입의 Brooks MFC는 수백만 원 한다. 여기에 제어 장치까지 추가하면 비용이

초과하여 보다 낮은 가격에 사양에 맞는 제품을 찾은 결과 atovac社의 MFC를 선정 하였으며 필요한 파츠를 매입 및 가공하여 leak check와 flow check 테스트를 거쳐 고객의 설비에 설치하고 테스트 및 교육까지 완료하였다.

크게 보면 간단한 작업이기는 하나 선정, 구매, 테스트, 설치, 차후 AS까지 Co-work한 다른 인원 두 명이 모든 걸 하다 보니 나름 확인해야 할 사항이 많다. 회사 소속 일 때는 각 업무별 부서가 분업하지만 지금은 전부 스스로 해야 한다.

업무절차 

1. 고객사양 확인 (성능, 가격, 필요한 기능 등)
2. 필요한 제품 선정 및 제품 견적서 요청 (고객 요청에 맞는 제품인지 maker에 확인)
3. 고객에게 견적서 제출 (작업일정, 비용, 설치 가능 시기 조율 등)
4. 필요 파츠 수배 및 가공 의뢰 그리고 입고 확인
5. 가조립 및 leak, flow 테스트 진행
6. 제품 포장
7. 고객사 설비에 설치 및 테스트 

지금까지 작업한 내용을 간략히 적어본다.