진공에 대해 알려주마.

원격데스크탑

하이백 — Sun, 12 Jul 2026 15:50:21 +0900

"지식"

원격 제어프로그램 하면 아러드민 하던 시대가 있었다. 원격데스탑의 대명사 "RAdmin"

이러한 공식이 있었다. 하지만 이제는 구글은 물론 온갖 메이커에서 원격데스크탑을 무료 제공한다. 국내에서 제공하는 원격데스탑이 있어 소개한다.

개발자와 현장에서 가장 많이 사용되는 원격 프로그램의 대명사, 심플하고 손쉬운 사용으로 많은 인기를 얻음. 무엇보다 원격 프로그램이 없던 시절 선구자 역할을 했던 바로 그 ...

지금은 흔한 기술이 되었지만 원격은 물론, 스파이뷰 기능, 파일전송, 중간 PC를 사용한 중계 기능등(이 기능의 이름을 잘 모르겠음) 다양한 기능을 쉽게 사용할 수 있어 많은 인기를 누렸다.

비전 검사기는 비전 이미지를 처리하기 위하여 카메라 1대에 고성능 PC1대를 사용하게 된다. 보통 4~8대(혹은 그 이상)의 비전 PC를 사용하는데 이를 모두 모니터링하고자 할 때 원격 프로그램이 많이 사용하였다. 그 이전에는 물리적 Select switch를 사용하여 엄청 많은 케이블로 애를 먹었던 일도...

2. TOP DESK (topdesk.co.kr)

완전 무료로 제공됩니다. 아무 제약 없이 그냥 다운로드하고 실행하면 된다.

TOPDESK

해당 홈페이지의 소개에 보면 소개/버전/다운로드 항목 밖에 없다. 언제까지 무료 일지는 모르겠다. 많이들 사용하시라.

3. 리모트뷰 (content.rview.com/ko)

국내 1위라고 합니다. 60 FPS, IP보안등 유료인 만큼 다양한 기능을 제공한다. 14일 평가판도 제공한다. 소프트웨어 원격은 물론 하드웨어 원격(KVM)도 있어 강력한 물리 보안도 제공한다.

4. 이지리모트 (www.ezhelp.co.kr)

AR산업협회 지정 우수 원격지원 프로그램 1위, 바이러스 백신 기능까지 지원한다고 합니다.

이지헬프, 이지리모트 두 가지 형태로 지원하며 범용 원격 제어와 고기능 원격제어 등으로 제공하는 듯하다. 체험판 있음.

5. HopToDesk (www.hoptodesk.com/ko)

오픈소스이며 Reddit 포럼에서 토론, 기술 지원도 제공합니다.

자주 하는 질문에 아래와 같은 질문과 답변이 있다.
Is HopToDesk really free?
Yes. The HopToDesk app is free for both personal and business use, with no time limits. You only pay if you choose the 계기반 to manage a larger fleet, which has a free tier plus paid plans for when you need more devices and team features.

HopToDeak

예산 할머니 장터국밥

하이백 — Fri, 22 May 2026 23:38:28 +0900

"맛집", "짤방:살아있다는증거를남기기위한"

예산 시장에 국밥집을 소개한다. 다녀본 아니 맛있었던 맛집을 소개해 볼까 한다.

자주는 아니지만 오래전 부터 다니던 예산의 장터 국밥 집이 있었다. 예산 5일장 전날과 장날에만 장사를 하는 곳 이었다. 그러던중 예산 시장이 현대화 되면서 없어졌나 했다. 그 가계가 이사가 새로 시작한 집이라 하는데 확인 할수는 없었다. 하지만 그 집의 국밥 맛 만큼 최고여서 소개해 본다.

할머니 장터국밥
충남 예산군 예산읍 천변로 155 1층
https://kko.to/r8eKOqvtGA

할머니장터국밥

가계에 입장하면 아래와 같은 메뉴를 보게 될 것이다. 메뉴는 수육과 국밥 그리고 밥대신 면을 넣은 국수 이것뿐 ...

메뉴는 수육, 국밥, 국수 끝

정신 없이 먹다 보니 사진 찍기를 잊었다는 ...

다 먹고 생각난 ...

조만간 재 방문하여 사진을 업데이트 하겠다.

M31-XAXA0404G

하이백 — Thu, 9 Apr 2026 18:36:58 +0900

알리에서 분산형 IO Module을 테스트해 보았다. 얼마 전 사용한 크레비스 모듈에 비해서 가격이 혁명적으로 저렴하다. 성능은 괜찮은 걸까? 궁금한 마음에 Modbus TCP 모델 한 세트를 구매하여 모두버스 통신 프로그램 테스트용으로 사용하고자 한다.

https://www.ebyte.com/

가장 기본이 되는 Digital/Analog I/O모듈을 구매 하였다. 가격은 무려 88,000원이다. 크래비스와 다른 점은 interface module이 분리되지 않고 내장된 모델과 그렇지 않은 모델 두 가지 종류로 있다.

Interface module과 IO module이 붙이있는 모델과 IO Module만 있는 타입 두 가지가 있다. Voltage control의 AIO 모듈을 구매하려고 했으나 이 모델에는 current 관련 모듈 밖에 없다. Voltage를 사용 하려면 새로 출시된 U모델을 사용해야 한다. U 모델과 이것과는 호환되지 않는다고 한다.

Input과 output을 짬빠 시켜 출력값과 입력값을 비교하여 장시간 테스트를 진행하였다. 하루 종일 수천회 사이클 테스트를 해 보았다. 잘 동작한다. 예상보다 굿이다.

출력을 입력에 점퍼 (Digital 4P, Analog 4P)

Coil의 holding, input 그리고 holding register, input register를 실시간 polling 하여 화면에 표시하였다. 또한 사이클로 반복적인 패턴을 출력으로 내보내고 이를 input으로 읽어 비교하여 error 유무를 확인하였다. Analog 역시 random 값을 쓰고 이를 다시 읽어 출력과 입력의 값이 같은지를 비교하여 error 유무를 확인하였다.

아날로그 모듈의 경우 0 - 20mA 모드로 설정하여(설정 툴 제공) 테스트 하는데 최대 20mA를 천분율로 바로 읽어 올 수 있다. 분해능이 얼마이고 32767 또는 65535가 최대값이고 장치는 20mA이면 스케일링 뭐 이런거 필요 없다. 바로 원하는 값을 준다. 즉 20mA인 경우 20,000으로 읽어오며 10,000을 write 하면 10mA인 것이다.

Output 모듈에 출력을 내보낸 후 점퍼된 입력 모듈을 통하여 확인하는데 약 20 msec 정도의 시간을 두었다. TCP로 명령을 전달하고 모듈 내부에서 처리하는데 최소 10~15 msec 정도의 시간을 필요로 한다. 테스트 결과는 훌륭하다.

전원 연결하는 과정에서 +,- 가 바꾸어 연결하여 전원을 오 투입 했으며, 단자를 엄한데 연결하는 실수가 있었다. 이후 조치 후 동작에는 문제가 없다. (내가 너무 무시한 것이 아닌지...)

내구성만 확보되면 웬만한 장치에 사용 가능할 것 같다. 성급한 생각일 수 있으나 가격이 혁명적이라...

수동 동작과 사이클링 테스트를 진행할수 있는 ...

신형 모델은 Analog voltage 제어가 가능하다. 대신 이전에 비해 가격이 많이 상승하였다. 참고하시라.

신형 아날로그 볼티지 인풋 모듈

T-Bench

하이백 — Fri, 27 Mar 2026 22:46:37 +0900

RPS를 수리하는 업체와 협업을 진행 하였다. RPS를 수리 후 검증하기 위하여 실제 설비와 같은 환경을 구성하여 정상 수리 여부를 판단하고 출력을 Calibration하는 테스트 장비를 제작하게 되었다.

드라이 펌프까지 제어가 가능한 완전 자동 테스트 벤치 머신 이다. 자동, 수동, 레시피, 파라메터, 히스토리를 제공한다.

T-Bench

반도체 설비

이전에 제작 하였던 설비로 이것에 비해서는 약소(?)하지만 Process recipe를 작성하여 다양한 가스의 MFC와 Pressure control을 하며 RF를 제어하는 설비이다.

Vacuum, Gas, Pressure, Chamber, RF, Plasma, Vaffle, Pump, Valve, ATM, CDA, PCW 등 테스트 설비 이지만 전공정 설비와 유사한 공정을 가진다.

설비는 RPS(Remote Plasma Source)의 성능을 검증하기 위한 테스트 벤치로 RPS가 사용되는 설비의 공정 환경을 동일하게 구성하고 RPS의 출력 제어로 matrix test를 가능하게 한다.

여기서 발생되는 문제를 검증하고 다시 조치 후 정상화 하기 위한 검증 설비다. 또한 RF Generator의 power calibration을 3 step 방식으로 즉석에서 처리 할 수 있으며 RPS의 현장 수리도 지원 가능케 한다.

아래 이미지는 RP를 연결하여 Plasma ignition test를 진행중인 모습니다.

Remote Plasma

진공과 RF등을 사용하는 설비를 제작하기 위해서는 아래와 같은 과정을 거치게 된다.

1. 고객 요청 사항 파악

T-Bench의 목적은 양산 라인에서 사용하는 RPS의 기능 이상 여부를 확인하기 위함이다.
테스트를 위해서는 양산 설비와 동일한 환경을 제공해야 한다.
고객의 니즈에 맞추어 수동, 반자동, 완전 자동으로 구성된 UI를 제공하여 원하는 테스트를 진행 할 수 있도록 지원한다.
설계에서 제어까지 고객이 원하는 대부분의 기능 구현 가능 하며 모든 장치의 수동 작동이 가능하다.

2. 양산 설비의 특성 추가

반도체 라인에서 제공하는 화면과 같은 기능의 화면 제공
수동에서 반자동, 완전자동 운전 가능
레시피에서 구현한 순서에 따라 설비 운용 가능
사용자 친화적 화면 제공과 명확한 기능의 버튼 제공으로 사용자 편의성을 극대화
화면에서 모든 동작이 가능한 메이트 화면 제공

강력한 히스토리 기능 제공
데이타 로그는 물론 이벤트 로그와 확대, 축소 등이 자유로운 데이타 그래프를 제공

3. 손쉬운 사용을 위한 설계

작은 사이즈로 손쉬운 설치, 사용자 편의를 위한 리프터, 레시피만 선택하면 되는 풀 오토 기능 제공

4. Full auto recipe 제공

자동 제어를 위한 Process Recipe

5. 기타

테스트 진행중 발생하는 열을 제어하기 위한 쿨링 운용

Cooling test

프라즈마 테스트

Plasma by RPS

VS Remote Debugging

하이백 — Wed, 18 Feb 2026 14:03:33 +0900

"공부다"

VS Remote Debugging

인터넷이 안 되는 제어용 PC에서 VS 개발 환경을 구성하기는 쉽지 않다. 이러한 경우 Remote debugging이 그 답 중에 하나일 것이다. 설정하는 방법에 대한 기술 해 본다. 아래는 내가 Remote debug를 사용하는 이유다.

하드웨어가 연결된 제어 PC에서 디버깅이 필요한 경우
설비를 제어하는 PC에 개발 환경(Visual studio 등)이 없는 경우
소스 코드를 제어 PC에 두고 싶지 않은 경우

이러한 경우 Viual studio에서 제공하는 remote debugger를 추천한다. Visual Studio 2022 버전을 기준으로 소개한다. 버전마다 파일 위치가 조금씩 다르니 참고하시라.

원격 PC 설정하기

실제 프로그램이 구동될 제어 PC에 Remote debugging 유틸리티를 설치해야 한다. 자신이 사용하는 VS의 Version마다 별도로 구성되어 있어 버전을 확인하고 다운로드하여 원격 PC에 설치한다.
https://learn.microsoft.com/en-us/visualstudio/debugger/remote-debugging?view=visualstudio

원격(제어) PC에 실행 파일이 저장될 디렉터리를 생성하고 Everyone Read/Write 공유를 설정한다. 내 노트북 PC에서 Network으로 연결하여 해당 디렉터리가 보이고 읽고, 쓰기가 가능해야 한다. 이는 파일 탐색기로 미리 접근이 가능한지 테스트해 보면 된다.

설치가 완료되면 아래 디렉터리에 있는 파일을 실행하면 원격 디버깅이 가능한 상태가 된다.

시작 버튼을 눌러 Remote Debugger 를 찾아 실행시키거나 아래의 디렉토리의 파일을 찾아 관리자 권한으로 실행 한다. VS버전마다 위치가 조금씩 다르니 버전에 맞는 위치를 확인해야 한다.

실행파일은 아래의 위치에 있으며 (VS2022 기준) 그 아래 이미지는 실행된 모습니다.
C:\Program Files\Microsoft Visual Studio 17.0\Common7\IDE\Remote Debugger\x64\msvsmon.exe

원격 PC 이름과 포트 번호가 보인다.

원격(제어) PC에 설정은 이게 끝이다. 다음은 내 노트북 설정이다.

내 노트북 설정하기

우선 설정 내용을 간단히 정리해 본다.

구성관리자에서 Remote 새로 만들기
프로젝트/속성/빌드 항목에서 출력경로 지정
프로젝트/속성/디버그 항목에서 작업디렉토리 설정 그리고 원격 컴퓨터 사용 클릭

구성관리자 새로만들기

프로젝트 파일을 읽어 온다.
메뉴 / 빌드 / 구성관리자를 선택한다.
[활성 솔루션 구성]에서 <새로 만들기 ...>를 선택하고 새 솔루션을 추가한다.

[새 솔루션 구성] / 이름을 지정한다. 가장 흔히 사용되는 이름인 Remote(원하는 대로 입력)로 입력하고 다음에서 설정 복사 항목에는 Debug를 선택하고 확인을 클릭

[다음에서 설정 복사] 항목에 Debug로 선택해야 한다고 한다. (이 항목의 정확한 의미를 잘 모르겠음)

디버그 속성 / 빌드 변경

메뉴 / 디버그 / 디버그 속성을 클릭한다.

구성 항목에 Remote가 선택되어 있는지 확인한다.
출력 경로에 " \\원격 IP주소\실행파일디렉터리\ " 형식으로 입력한다.
이후 [찾아보기]를 클릭하여 해당 디렉터리가 보이는지 확인하고 [폴더선택]을 한다.

출력 경로에 원격 PC의 이름과 포트 번호를

당연히 원격 PC의 폴더는 공유되어 있어야 하며 탐색기를 통하여 해당 디렉터리의 공유를 확인한다.
공유가 안 되는 경우 주로 방화벽 문제이며 원격 PC의 방화벽을 모두 해제하고 접속해 볼 것.

디버그속성 / 디버그 변경

메뉴 / 디버그 / 디버그 속성 / 디버그 항목
작업 디렉터리 항목에 [빌드]의 출력 경로를 복사하여 붙여 넣고 [찾아보기] 클릭하여 확인
[원격 컴퓨터 사용]을 선택하고 원격 PC의 IP 주소만 입력한다.

여기까지 하면 설정은 모두 마무리된 것이다.

아래 항목에서 Remote를 선택한 후 F5를 눌러 디버깅을 시작하면
실행 화면은 제어 PC에서 실행되고
디버깅 화면은 내 노트북 PC에 보이게 된다.

Debug로 선택하면 기존과 같이 내 PC에서 디버깅이 가능하다. 필요에 따라 기존과 같이 Debug를 실행하거나 Remote로 원격 PC에서 실행하여 원격 디버깅을 하면 된다.

REMOTE DEBUGGING

추가내용 (원격 디버깅이 안 되는 경우)

원격디버깅을 사용하다 보면 이런 메시지가 발생하는 경우가 있다. 이러한 경우는 VS의 디버그 항목의 내용 중 일부가 삭제/원복 되어 발생한다. 기존 항목을 다시 설정하면 정상 동작한다.

기존의 디버그/빌드 항목을 다시 입력하면 정상 디버깅이 가능하다.

추가내용2 (원격 디버깅이 해제되지 않는 경우)

원격 디버깅을 해제하고 내 컴퓨터에서 디버깅을 하고자 할 때 F5를 누르면 계속하여 원격 PC를 찾는 경우가 있다. 이러한 경우는 VS 환경에서 수정한 항목이 제대로 저장되지 않아 생기는 문제로 추정된다.

이러한 경우에는 아래와 같이 수동 설정이 필요하다. 프로젝트 디렉토리에서 두 개의 파일을 집적 수정해야 한다.
PROJECT.csproj
PROJECT.csproj.user

수정 파일1 : PROJECT.csproj
해당 파일을 열어 아래 항목을 찾아 <PropertyGroup>에서 부터 </PropertyGroup>까지 전체를 삭제한다.
<PropertyGroup Condition="'$(Configuration)|$(Platform)' == 'Remote|AnyCPU'">'

  <PropertyGroup Condition="'$(Configuration)|$(Platform)' == 'Remote|AnyCPU'">
    <DebugSymbols>true</DebugSymbols>
    <OutputPath>\\192.168.255.10\bot\MKS925\</OutputPath>
    <DefineConstants>DEBUG;TRACE</DefineConstants>
    <DebugType>full</DebugType>
    <PlatformTarget>AnyCPU</PlatformTarget>
    <LangVersion>7.3</LangVersion>
    <ErrorReport>prompt</ErrorReport>
    <Prefer32Bit>true</Prefer32Bit>
  </PropertyGroup>

수정파일2 : PROJECT.csproj.user
해당 파일을 삭제 할것.
새로운 구성관리자가 생성되면 이 파일에 기록하게 된다.

ATM Pressure Switch (ATM Sensor)

하이백 — Thu, 12 Feb 2026 23:56:18 +0900

"장치설정" ATM Sensor

Pressure switch(디지털 압력 스위치)는 여러 분야에 사용된다. 해당 장치는 핸들러 등에서 재료의 Picking 즉 장치가 재료를 제대로 흡착하였는지를 확인하는 장치로 많이 사용되는 것으로 알고 있다.

우리 업계에서도 다양한 곳에 사용 되지만 진공 설비에서는 대기압 근처의 압력을 정확히 인식하는 switch로 많이 사용된다. 이러한 이유로 ATM Sensor라고 호칭 하였다.

Loadlock chamber에서 처럼 계속 Vent, pump를 진행하여야 하는 장치에서는 챔버 내 압력이 정확히 대기압과 같이 Vent 되지 않으면 pressure shocking으로 재료 및 부품의 파손으로 이어진다.

Pressure switch의 사용 목적은 사용자가 원하는 압력을 인식하는 것이다. Switch가 설치된 곳의 압력이 원하는 압력이 되면 출력을 이용하여 스위치를 켜는 것이다. 이 스위치가 동작하면 제어기는 다음 동작을 할수 있도록 처리한다. 반대로 압력이 변하게 되면 면 원하는 압력 될 때까지 대기하면 된다.

Pressure switch중 가장 많이 사용되는 SMC의 ISE/ZSE를 예로 든다. 이 시리즈는 정압, 진공, 연성압용이 존재하며 피팅, 출력, 단위 등의 사용 환경에 따라 다양한 모델이 존재한다.

SMC ZSE20A

정압용 : 압력의 측정 범위는 -0.1 Mpa에서 1 MPa 까지이다.
진공용 : 측정 범위는 0 kPa에서 -101 kPa까지이다.
연성압용 : 측정 범위는 -100 kPa에서 100 kPa까지 압력을 측정하며 정압과 진공을 모두 측정 가능하다.

원하는 OUT 출력을 설정하고자 할때 위와 같이 ...

위와 같이 hyteresis mode를 사용하여 일정 압력에서만 동작하는 switch 역할의 기능을 수행할 수 있다. 물론 ATM 보다 낮은 압력 구간에서만 동작하는 방법도 가능하다. 결국 필요한 인식 조건 파악하고 조건에 맞는 장치를 선정하고 세팅하면 된다.

아래와 같이 연성압용(Compound Pressure) 센서를 사용하여 특정 압력 구간을 인식하도록 하는 방법도 가능하다.

또 다른 용도로 기체의 토출시 제대로 된 압력이 걸리는지는 정압용(Positive Pressure) Pressure switch를 사용한다. 정압용 센서는 0.1 ~ 1 MPa 정도를 측정하나 압력이 걸리는 부분을 측정할 수 있다.

THEORY

사용 모델은 ZSE20(진공압용)이며 모든 Pressure Switch는 0이 대기압이고 압력이 낮아지면 마이너스로 표시된다. 해당 모델은 Output 값이 두 개 존재 한다.

진공압 모델을 사용하였으니 최댓값이 0 ~ 최솟값을 이보다 약간 낮게 설정한다. P1, H1을 설정하면 Output1이 동작하게 된다. Set Value와 Hysteresis 영역을 설정하면 된다. 우선 매뉴얼을 보자.

원하는 OUT 출력을 설정하고자 할때 위와 같이 ...

SETTING

챔버의 압력이 ATM에 도달 하였는지를 판단하는 장치로 사용될 것이라 다음과 같이 설정한다.
(필요시 대기압 상태에서 Up/Down을 동시에 2초 이상 누르면 현재가 0.0(대기압)으로 reset 된다.)

출력1번에 히스테리시스 모드를 설정하고 대기압인 경우 OUT1의 출력을 만들고자 할때
설정 모드 들어가기 (가운데 버튼을 길게 누른다)

SetValue (P_1) = 0.0
Hyteresis (H_1) = 0.5

설정값 입력 방법은 아래 그림처럼 가운데 버튼을 길게 누르면 SET. F0 순차적으로 변경 된다.
P_1과 H_1은 SET을 선택후 변경하고 F1은 F0에서 Up/Down 버튼을 눌러 F1 설정후 값을 변경하면 된다.

기능선택모드(F1) / 출력(OUT) = HYS (Hysteresis)

반대로 동작한다면 기능선택모드(F1) / lot = 1_P를 1_n으로 혹은 반대로 설정

물론 설정에 맞게 색상도 변경이 가능하다.

Hysteresis 간이설정방법

AI Tip : 채터링(Chattering)이 발생한다면?
만약 대기압 근처에서 바늘이나 수치가 미세하게 흔들려 출력이 불안정하다면, 응답 시간(Response Time)을 조절해 보세요.
[F3] 메뉴에서 응답 시간을 기본값(2.5ms) 보다 높은 20ms 또는 100ms로 높이면 훨씬 안정적으로 동작합니다.

Remote I/O Control (CREVIS)

하이백 — Sat, 7 Feb 2026 22:32:30 +0900

Crevis Modbus Tcp/Udp Network Adapter 세팅을 하고 한다. RJ45 케이블을 연결하고 자동 스캔을 진행한다. 연결되지 앟는다.

Direct/Twist Cable 구분이 있는가? 없다. 요즘은 자동 인식 회로 탑재 되어 있다.
IP 주소가 잘못되었나? 인터넷에서 뒤져본다. 맞는데...
그럼 Crevis Adaptor 문제 인가? 아니다. 새 제품이라 그럴 확률이 낮다.
그럼. 뭐지 본사 서비스 센터에 연락해 보았다.
Default IP Address가 192.168.100.100 이란다.

PC IP 주소를 192.168.100.10으로 변경하고 Auto scan 해보니 서브 모듈을 제대로 인식한다.

CREVIS GL-9089 (출처 CREVIS 홈페이지)

잠시 머뭇 했던 분은 여기 까지만 보면 모두 해결되었을 것이다. 아래 내용은 IOGuide2 Utility 사용법을 기술하였다.

1. PC와 GL-9089를 Lan cable을 연결한다.

당연하겠지만 PC와 크래비스 네트워크 어뎁터 모듈을 다이렉트로 연결하거나 HUB를 사용하여 연결한다.

Lan cable, RS-232 cable 등의 다이렉트(1:1연결) 케이블과 크로스(일부 선을 꼬아놓은) 케이블이 있었다. HUB를 사용하면 다이렉트 케이블을 PC끼리 연결하면 크로스 케이블을 사용하였다. 여간 번거롭고 귀찮은 일이었다. 하지만 오래전 이런 번거로움이 사라졌다. LAN 케이블의 꼬임(크로스) 방식과 다이렉트(일자) 방식을 자동으로 감지하여 연결해 주는 기능이 생겼으니 그것은
Auto MDI-X (Automatic Medium-Dependent Interface Crossover)

2. PC의 IP Address를 설정한다.

크래비스 네트워크 어뎁터 모듈의 기본 주소는 [192.168.100.100]이다. 인터넷상 자료들에는 192.168.0.10으로 표현되어 있는 데가 많아 한참 애를 먹기도 했다. 중간에 변경 히스토리가 궁금하다.

모듈의 주소를 변경하고자 할 땐 크래비스 IOGuide2 유틸리티를 사용하여 여기에 내장된 Bootp로 IP Address를 변경할 수 있다. 크래비스 본사에서 매뉴얼을 받아 볼 수 있다.

3. IOGuide2를 사용하여 연결된 모듈을 SCAN 하고 주소를 확인한다.

파일 / 프로젝트 파일 / 새 프로젝트(New project)를 선택하고 프로젝트 이름을 입력하여 새로운 프로젝트를 생성한다.

자동 스캔(Automatic scan)을 실행한다. 확인된 모듈은 아래와 같이 표시된다.
(IP Address A.B.C.D 설정중 ABC까지 같아야 하며 D만 서로 다르게 설정되어야 한다. subnet mask는 당연 255.255.255.0으로 설정하여야 한다.

파일 / 프로젝트 파일 / 열기에서 항목 3에서 생성한 프로젝트를 불러온다.
온라인 / 프로세스 이미지 모니터링 시작
프로세스 이미지 탭에는 실시간 IO 상태를 확인할 수 있다. 읽기는 실시간 쓰기는 버튼을 클릭해야 한다.
주소 맵 탭에는 현재 설치된 모듈별 접근 주소가 표시된다.
모든 것이 생각대로 되었는가? 그러면 저장

4. 크래비스 모듈 주소 변경하기

도구(Tool) / Bootp Server 사용하기

도구 / Modbus Protocol Messenger 사용하기

5. Modbus TCP로 데이터 주고받기

Sub IO Module이 connect 된 후 메뉴의 도수/Modbus Protocol Messenger 클릭하면 다음과 같은 화면이 나타난다.

여기서 필요한 항목을 선택하고 주소를 입력하면 해당 주소의 내용을 가져오거나 설정할 수 있다.

PWM for Plasma

하이백 — Sun, 21 Dec 2025 23:15:14 +0900

"공부다"
틀린 내용이 있을 수 있으니 개념만 참고하시고 틀린 부분을 지적해 주시면 감사합니다.

구글 AI에게 PWM에 대해 물어보았다. 아래와 같이 정리해 주었다.

PWM(Pulse Width Modulation, 펄스폭 변조)은 디지털 신호의 '켜짐' 시간(펄스폭)을 조절하여 평균 전압을 바꾸는 기술로, LED 밝기, 모터 속도, 전력 제어 등에 사용되며, 디지털 신호를 아날로그처럼 제어하는 효과를 냅니다. 일정한 주기의 펄스 파형에서 'On'과 'Off' 비율(듀티 사이클)을 변경하여 전력을 제어하는 방식입니다.

펄스폭

조절: 디지털 신호(HIGH/LOW)를 빠르게 반복하면서, HIGH 상태가 유지되는 시간(펄스폭)을 조절합니다.
듀티 사이클: 펄스 주기 대비 ON 상태인 시간의 비율을 '듀티 사이클'이라고 하며, 이 비율을 0%에서 100%까지 변경합니다.
평균 전압: 듀티 사이클이 높을수록 평균 전압이 높아지고, 낮을수록 평균 전압이 낮아집니다. 우리 눈이나 기기는 이 펄스들을 평균값으로 인식합니다.

주요 활용 분야

모터 제어: 펄스폭을 조절해 모터의 회전 속도를 부드럽게 제어합니다.
LED 밝기 조절: 펄스폭을 조절해 LED의 밝기를 조절합니다 (아두이노 등에서 analogWrite() 함수로 구현).
전력 제어: 전력 변환 장치(SMPS)에서 전력 효율을 높이는 데 사용됩니다.

"PWM을 사용하는 이유는?"

PWM(Pulse Width Modulation, 펄스 폭 변조)을 사용하는 가장 핵심적인 이유는 디지털 신호로 아날로그 장치를 매우 효율적이고 정밀하게 제어할 수 있기 때문입니다.

위의 PWM을 잘 설명한 페이지를 소개한다.
https://m.blog.naver.com/emperonics/221725399383

그럼 우리 업계 설비에서는 이것이 어떻게 사용되는가를 알아보자

RF Plasma를 공정에 사용하는 설비의 고질적 약점이 있다. 그것은 바로 Arcing(아킹)이다. 프라즈마 에너지가 원하는 곳에서 처리되지 못하고 의도치 않는 공간에 프라즈마가 생성되거나 순간 방전되는 arcing이 발생한다. RF Plasma설비에서 이러한 arcing을 제대로 제어하지 못하면 모두가 알듯이....
https://hivac.tistory.com/29

따라서 의도치 않은 arcing을 제어하기 위하여 RF 출력과 PWM을 묶어 사용한다. 그럼 PWM은 RF Generator(arcing)에 어떻게 사용되어지는가?

일반적인 경우 보통의 Digital signal을 사용하여 On(24V)하면 설정된 출력이 나가게 된다. 당연히 Off(0V)는 generator는 끄게 됩니다. Generator를 On 하고 일정 시간 시간 후 Off(Time etch)하는 방식과 EPD에서 end 신호를 받으면 generator를 off 하는 방식으로 공정을 진행하게 됩니다.

즉 PWM 신호를 RF Generator에 바로 사용하는 것이 아닌 출력을 위한 매개로 사용하는 것이다. 아래는 그러한 개념을 이미지로 표현한 것이다. 참고만 하시라.

Continuous wave(일반파형)

PULSED WAVE

공정시간(Etching time) 동안 RF Generator를 계속 켜 두는 것이 아니라 pulse generator에 출력을 받아 이 신호를 기준으로 RF 출력을 pulse 형태로 변환하게 된다. 당시에는 97% 정도를 사용하였으며 공정에 영향을 미치지 않을 정도의 효율의 off시간을 넣어 arcing이 발생할 환경을 최소화한다. PWM은 여기 pulse generator에서 사용하며 여기에서 발생된 신호를 generator에 전달하고 제네레이터는 이 신호를 기준으로 출력을 pulsed mode로 제어하게 된다.

아래 이미지는 출력에 관련된 내용을 이미지로 표현한 것이다. 왼쪽은 연속으로 출력이 발생하는 이미지이고 우측은 pulsed wave의 출력 이미지를 표현한 것이다. 왼쪽 이미지가 출력의 총합이 100이라면 우측 이미지는 출력 60에 순간 Off를 40을 표현한 것이다. (이를 Duty cycle 60%라고 표현한다.)

이미지 출처 : 성균관대학교산학협력단, “펄스 플라즈마의 dc 파워 인가에 따른 동기화 제어 방법” PCT/KR2011/001400, Jul. 1, 2011.

당시에는 제어 엔지니어로 필요한 기능을 구현하는 게 목적 이어서 자세한 내용을 알기보다는 기능 구현에 충실했던 것 같다. 찾아보니 이러한 기능을 Pulsed plasma라고 하며 이에 대한 효과는 공정 개선과 charge 감소등이 있다, 우리는 여기서 charge 감소를 목적으로 하였으며 효과가 상당했다. CS의 리포트에 의하면 모니터링 기간 동안 arcing 발생 빈도가 상당히 감소하었다고 한다. 당시 arcing이 잇슈화 되어 심각 단계로 넘기 전에 상당한 개선이 보여 큰 산 하나를 넘은듯한 분위기에...

구조는 아래와 같이 기존 On/Off 신호와 별개로 Pulse generator(Generator maker제공)를 추가 설치하고 RF를 켜기 전 여기에 필요한 신호(Duty cycle, Frequency)를 미리 설정한 후에 Generator를 켜면 된다. Generator에는 미리 pulse mode를 사용한다는 설정이 되어 있어야 한다.

설명을 위한 자료를 찾아보니 2019년 세미콘 코리라에서 이를 주제로 한 세미나가 있었다. 여기에 링크를 참고하시라.
https://blog.naver.com/lam-r-korea/221490906107

플라스마 식각은 고선택비(high selectivity), 비등방성 에치(anisotropic etch), 더 엄격한 CD(Critical Dimension) 제어를 요구하고 있다. Pulsed RF (Radio Frequency) plasma는 기존의 CW(Continuous Wave) RF plasma에 비해 이러한 제어에 있어 큰 이점을 가지고 있다. 그렇기에 최근에는 식각 과정에서 굉장히 광범위하게 사용되고 있다.

[출처] 램리서치 이동수 박사가 알려주는 Pulsed RF Plasma 이야기 | 작성자 램리서치코리아

유틸리티

하이백 — Thu, 20 Nov 2025 22:50:55 +0900

"유틸리티 소개"

개발자로 일하면서 DOS부터 시작하여 윈도우 11까지 다양한 OS를 사용하여 PC를 세팅하였다.
그렇때마다 필수로 설치하는 유틸리티가 있었으니 그것을 여기에 소개해 본다.
홈 페이지도 표시하였으니 최신(Free) 버전을 확인해 보시기 바란다.

Everything / VOIDTOOLS

내 컴퓨터에 들어 있는 모든 파일을 찾아줘!

내 PC의 저장 장치에 있는 모든 디렉터리와 파일을 indexing 하여 보여준다.
파일명을 잘 모르는 경우 일부만 입력하고 나머지는 *로 마스킹 하여 원하는 파일을 찾을 수 있다.
미리 보기가 가능한 경우에는 우측에 미리 보기를 보여준다. 해당 파일을 더블클릭하면 해당 파일을 새 탐색기로 보여준다.
최고의 강점은 겁나 빠르다는 것이다.
내 PC의 하드(쓰디) 어딘가에 있을 파일의 이름을 일부만 입력해도 귀신 같이 찾아준다.

Everything이 뭔가요?

Everything은 파일 이름으로 파일과 폴더를 실시간으로 찾아주는 윈도 검색 엔진입니다.
윈도 검색과 달리 Everything은 처음에 컴퓨터에 있는 모든 파일과 폴더를 보여줍니다(그래서 이름이 그렇습니다).
검색 필터를 입력해 무슨 파일과 폴더를 보여줄지 거릅니다.

홈페이지
https://www.voidtools.com/ko-kr/

Agent RanSack / Mythicsoft

내 PC에 있는 파일, 텍스트를 찾아 준다.

파일과 파일 내용중 특정 텍스트를 찾아주는 유틸리티
소스코드가 버전별로 여러 개 있는 경우 날짜 혹은 특정 문자로 내용을 찾을 때 유용하다.
문자의 일부만 입력해도 모두 찾아 준다.
당연히 시간이 걸린다. 하지만 빠짐없이 찾아준다.

홈페이지
https://www.mythicsoft.com/

TreeSize / JAM-SOFTWARE

내 PC의 Disk에 Usage map을 보여준다. Disk 삭제, 정리하는 경우 유용하게 사용할 수 있다.

하드(쓰디)의 저장 용량을 숫자와 이미지로 보여준다. 저장 공간의 크기를 알고 싶거나 공간이 부족한 경우 어디에서 무얼 지우고자 할때 유용하게 사용한다.

Free version download
https://www.jam-software.com/treesize#different-versions-for-different-requirements

3DP Chip / 3DP Chip

세상의 모든 장치 드라이버를 찾아줘

Download site
https://www.3dpchip.com/3dpchip/index_kor.html

내 PC를 분석하여 최신 드라이버를 찾아 준다.
간혹 XP, 7등의 윈도우를 필요로 하여 해당 윈도우를 설치하는 경우 Lan card를 인식하지 못하는 경우가 있다.
이런 경우에는 3DP Net을 먼저 실행시켜 Offline 상태에서도 lan driver를 설치 할수 있다.

Virtual Serial Ports Emulator / Eterlogic software

내 PC에 없는 Serial port를 원하는 대로 에뮬레이션 한다.

제어 엔지니어의 필수 유틸
없는 시리얼 포트를 가상으로 만들고, Splitter, Pair 등을 처리해 준다.
지원하는 기능을 사용하여 실제 통신 포트 모니터링도 가능하다.

홈페이지
https://eterlogic.com/products.vspe.html

사용 가능한 기능중 일부를 소개한다.

J1C / J1Lab

시리얼, TCP, UDP 통신 테스트 프로그램의 최강자

시리얼 통신을 위한 엔지니어 필수 유틸
시리얼 혹은 TCP 통신 테스트를 위한 최고의 유틸리티 프로그램

J1Lab 홈페이지
http://www.j1lab.com/

File On 기능을 사용하여 미리 준비된 command를 전송할 수 있으며 Hex 형태의 전송이 가능하다.

Agent RanSack / Mythicsoft

내 PC에 있는 파일, 텍스트를 찾아 준다.

파일과 텍스트를 찾아주는 유틸리티
소스코드가 버전별로 여러 개 있는 경우 날짜 혹은 특정 문자로 내용을 찾을 때 유용하다.
문자의 일부만 입력해도 모두 찾아 준다.

홈페이지
https://www.mythicsoft.com/

Beyond Compare / Scooter Software

두 개의 파일 사이에 뭐가 다르지?

텍스트, 디렉터리, 이미지, Hex 등 다양한 형태를 비교하여 다른 점을 보여준다.
버전 관리 안 되는 두 개의 프로젝트를 비교하면 관리 끝

홈페이지
https://www.scootersoftware.com/

Radmin / Famatech

원격 제어 프로그램의 최강자

원격 제어 프로그램의 최강자
국내 대기업 등에서 필수로 사용하는 원격 프로그램
설비 내에 제어 PC를 여러 대 사용하는 경우 네트워크로 묶어 Radmin으로 관리하면 유용하다.

홈페이지
https://www.radmin.com/kr/

SharpKeys / randyants

고객사에서 키보드에서 CAD키를 막아 달라고 할때 유용한 Keyboard mapping utility

고객사에서 제어 PC를 통제하기 위하여 윈도우 특수 목적 키를 막고자 하였다.
많은 기법을 사용하였으나 쉽지가 않다. 처음엔 아래와 같이 셋팅 하였다. 그리고 ...
https://hivac.tistory.com/76
강건너 산넘어 수풀을 헤치고 찾아낸 유용한 툴을 소개 한다.

개발자 github
https://github.com/randyrants/sharpkeys/

VVC (Vacuum Variable Capacitor)

하이백 — Sat, 1 Nov 2025 20:40:30 +0900

"업계용어"

WC 아니고 VVC(Vacuum Variable Capacitor)입니다.

요즘 대세인 AI에 여쭤 봤습니다.
AI가 아래와 같은 상황에 필요한 개념이라 설명합니다.

"RF Plasma 장치에 사용되는 VVC는 무엇인가?"

RF 식각 공정 중 플라즈마 상태는 지속적으로 변하며, 이에 따라 챔버의 부하 임피던스(Load Impedance)도 변화합니다. 최대 전력 전송을 위해서는 RF 전원(RF Generator)의 출력 임피던스(일반적으로 50Ω)와 챔버의 부하 임피던스가 일치해야 합니다 (임피던스 정합, Impedance Matching).
임피던스 매칭 네트워크(Matcher)는 이 두 임피던스를 실시간으로 맞춰주는 역할을 하며, 임피던스 측정을 통해 매칭 상태를 모니터링하고 제어합니다.

식각 공정 엔지니어는 주로 매칭 네트워크의 반사 전력(Reflected Power) 값을 통해 매칭 상태를 간접적으로 모니터링합니다. 임피던스가 잘 매칭되면 반사 전력은 거의 0에 가깝게 유지됩니다. 만약 반사 전력이 증가하면, 이는 챔버 내 플라즈마 상태 변화로 인해 임피던스 불일치가 발생했음을 의미하며, 자동 매칭 시스템이 작동하여 임피던스를 재조정합니다.

그리서 조금 더 찾아 보았다 VVC에 대한 논문을 참고하시기 바란다.

인용논문(일부발췌)
김홍민, 황청현, 최희원, 서용석, 임천용(2024)
"빠른 반도체 공정을 위한 전자식 가변 커패시터 회로"
전력전자학술대회하계학술대회논문집 2024.7.1~4

http://conf2024s.kipe.or.kr/pdfs/output/OS19.3_%EA%B9%80%ED%99%8D%EB%AF%BC.pdf

최근 인공 지능, 자율 주행, 클라우드 서버 등과 같은 응용 분야로 인해 고성능 반도체에 대한 관심이 높아지고 있다. 양질의 반도체를 제작하기 위해서 필요한 증착, 식각 등과 같은 공정에는 RF 플라즈마가 활용된다. 그림 1 은 RF 플라즈마 시스템의 블록도이다. RF 플라즈마 시스템은 RF 전력 발생기, 임피던스 조정 회로, 그리고 플라즈마 챔버로 구성된다. 이때 RF 전력 발생기에서 플라즈마 챔버로의 전력 전송 효율을 최대화하기 위해서는 RF 전력 발생기의 내부 저항 Rin 과 RF 전력 발생기에서 플라즈마 챔버 측을 바라볼 때의 유효 임피던스 Zeq 가 동일해야 한다. RF 플라즈마 환경이 조성되어 있는 챔버 안에서는 사용되는 가스의 종류가 바뀌거나 공정이 바뀜에 따라 부하 값이 변경되기 때문에 RF 전력 발생기와 챔버 사이에 임피던스 조정 회로가 필수적으로 요구된다 [1]-[3]. 임피던스 조정 회로에 사용되는 가변 커패시터 방식은 진공 가변 커패시터 (Vacuum Variable Capacitor, VVC) 방식과 전자식 가변 커패시터 (Electrical Variable Capacitor, EVC) 방식으로 분류된다. VVC는 커패시터의 두 전극 사이의 거리를 기계적으로 조절하여 커패시턴스 값을 변화시키기 때문에 커패시턴스 가변 속도가 느려서 임피던스 조정 속도가 느려진다는 한계가 있다. 임피던스 조정이 느려지면 반도체 공정이 지연되고, 결과적으로 반도체 수율이 낮아지게 된다. 따라서 최근에는 빠른 커패시턴스 가변 속도를 가지는 EVC 회로에 대한 관심이 높아지고 있다.

좀 더 찾아보니 HVC(Hybrid Variable Capacitor) 개념도 있다.

VVC는 모터와 진공 케페시터를 이용하여 기구적인 가변 임피던스 회로이며
EVC는 이를 전자식으로 대체한 것이다.
HVC 위의 두가지의 방식의 장점만 모아 만든 matching 회로도 있다.

참고자료

Maching Network (EMATECH PPT)
https://emagtech.co.kr/storage/app/images/78993039f3f047e56a464367d63bb4dc.pdf

RIE공정과 CCP vs ICP설비의 이해
https://m.blog.naver.com/rloudy5922/223008307110

Vacuum variable capacitor RF Match (출처 https://www.ebay.com/itm/145689259935)