진공에 대해 알려주마.

가정용 감압밸브 https://hivac.tistory.com/38 아래의 사진은 반도체 제조 설비에 가스를 공급하기 위해 거쳐야 하는 압력 조절기(regulator)의 모습니다. 모두가 같은 기능을 하는 장치지만 외부에 연결되는 피팅의 다름으로 다양한 형태를 가지게 된다. 설비에서 Regulator를 사용하는 이유는 설비내의 장치에게 일정한 압력으로 가스는 공급하기 위해서다. Regulator를 사용하지 않고 MFC등에 가스를 바로 공급하는 경우 MFC 등의 장치가 제대로 된 성능을 발휘할 수 없다. 그렇게 되면 결국 최종 공정에 문제가 발생할 것이다. 설비에서 가스를 공급하기 위해서 거쳐야 하는 장치는 다음과 같다. 수동밸브 : 완전 수동 밸브를 가스의 공급 여부를 선택한다. 레귤레이터 : 가스의 압..

설비에는 많은 유틸리티가 공급된다. 이는 설비가 온전히 동작할 수 있도록 하는 가장 기본적인 구성이다. 설비 제어 프로그램 중 가장 중요한 것 중 하나가 이런 유틸리티를 모니터링하여 압력이 떨어지는 등의 문제가 발생하는 경우 알람을 발생시키고 안전 조치를 취하는 것이다. 공정용으로 공급되는 것을 제외한 설비에 공통적으로 공급되는 유틸리티는 다음과 같은것이 있다. 그리고 당연하겠지만 설비를 셋업 하기 위해서는 유틸리티 공급이 가장 먼저 이루어져야 한다. CDA (Clean Dry Air) 수분이나 이물질이 없는 압축된 공기를 말하며 밸브 혹은 구동 장치를 움직이는데 사용한다. N2 (Nitrogen) 산화 가능성이 있는 곳에 CDA를 대신하여 사용 (공정을 위한 순수 N2는 PN2로 별도 공급) PCW (..