REGULATOR (레귤레이터)

가정용 감압밸브 
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아래의 사진은 반도체 제조 설비에 가스를 공급하기 위해 거쳐야 하는 압력 조절기(regulator)의 모습니다. 모두가 같은 기능을 하는 장치지만 외부에 연결되는 피팅의 다름으로 다양한 형태를 가지게 된다.

설비에서 Regulator를 사용하는 이유는 설비내의 장치에게 일정한 압력으로 가스는 공급하기 위해서다. Regulator를 사용하지 않고 MFC등에 가스를 바로 공급하는 경우 MFC 등의 장치가 제대로 된 성능을 발휘할 수 없다. 그렇게 되면 결국 최종 공정에 문제가 발생할 것이다. 

설비에서 가스를 공급하기 위해서 거쳐야 하는 장치는 다음과 같다. 

Block형태의 가스 공급 라인

수동밸브 : 완전 수동 밸브를 가스의 공급 여부를 선택한다.
레귤레이터 : 가스의 압력을 조절한다. 
PT : Pressure Transducer의 약자이며 압력을 계측하여 표시창과 제어기에 전달하는 기능을 한다.
필터 : Gas filter (사용 가스로 구별하지 않는다.)
Select valve : 공급되는 가스와 퍼지(Purge)용 가스를 선택적으로 사용하기 위한 두개의 밸브
                             (보통의 경우 MFC전후로 각각 밸브를 설치한다.)
MFC : Mass Flow Controller (가스의 유량을 제어한다.)
Supply valve : 해당 가스의 공급 여부를 결정하는 밸브
Master valve : 가스를 여러가 사용하는 경우 혼합하여 챔버에 공급하게 되는데 여기 최종단에 설치되는 밸브

 

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IGS Block type과 VCR type 그리고 male과 female, 연결되는 배관, 공급할 가스의 압력 등의 사양으로 분류된다. 그리고 공급되는 가스가 부식성 여부에 따라 내부 부품의 종류가 달라진다. 

 

다양한 형태의 Gas regulator

 

 

Gas block에 포함된 regulator

 

가스 라인(Gas box)는 설비 메이커마다 다르게 구성되기는 하나 표준 구성 방식을 따른다. 보다 작게, 보다 정밀하게 제어하기 위하여 진화한다. 가장 최신의 구성의 확인하지 못했으나 많이 다르진 않은 것으로 안다.

요증은 국산 메이커에서도 양산 라인에 공급한다고 한다. 더 많은 설비에서 사용되길 빌어본다.