진공에 대해 알려주마.

진공 설비에는 반드시 압력게이지(Pressure gauge)가 설치되어야 한다. 공정을 위한 챔버 혹은 버퍼 챔버등의 압력을 확인하기 위해서는 반드시 설치되어야 하는 필수템이다. 챔버의 압력이 낮으면 챔버를 손으로는 열 수 없으며 공압등의 실린더를 이용하여 열게 되면 엄청난 충격으로 챔버 내부에 파츠를 손상시킬 수 있다. 챔버에 웨이퍼나 글라스가 있다면 충격파로 형체를 알아보기 어려울 정도로 파손될 것이다. 챔버와 대기의 Gate door, 챔버와 챔버 사이의 gate door 등 두 공간을 격리하는 isolation valve를 구동하기 전에는 무조건 상호 압력을 확인하고 두 공간의 압력차를 최소화하여야 한다. 제어에서는 압력의 차이를 파라미터로 두고 두 공간의 압력차이가 설정치 이하일 때만 door를..

설비를 다루면서 예상치 못했던 이상현상에 대해 기록한다. 알고 나면 어이없을 수도 있으나 처음에는 상당히 당황하게 된다. 여기 내용이 조금이나 당신에게 도움이 되었으면 한다. CDG Voltage hunting 진공 챔버에서 CDG는 APC에 연결되어 사용된다. 특정한 압력을 만들기 위해 챔버에 gas를 흘리고 APC엣 원하는 압력을 전달하면 APC는 CDG의 값을 읽어 APC의 valve의 열림과 닫힘을 조정하여 압력을 조정하게 된다. 셋업 중 APC를 통해서 CDG의 들어온 값이 미친X 널뛰듯(좋은 말은 아니나 현상을 가장 효율적으로 표현하는 것 같아 적어본다) 한다. Maint를 위한 다른 통신 채널을 사용하여도 증상은 동일했다. RF를 사용하지도 않았는데 이러한 현상이 발생한다. 우선 RF Noi..

압력을 측정하여 시각화하거나 숫자로 표시해 주는 장치를 압력 게이지라고 한다. 이것이 업계에서는 어떻게 사용되는지 알아본다. 위와 같이 공급되는 압력을 바늘과 눈금으로 보여주는 압력 게이지가 있는가 하면 장치를 이용하여 압력을 측정하고 측정된 값을 통신을 통하여 원하는 곳에 전달해 주는 전자식 게이지가 있다. 위의 사진은 Pfeiffer사의 압력 게이지이다. 위의 적색 게이지는 Pirani gauge이고 아래의 백색은 Ion gauge로 고진공의 압력값을 읽는 장치이다. 그리고 이 페이지 맨 아래 사진에 보면 CDG(Capacitance Diaphragm Gauge)로 불리는 공정 중 챔버의 압력을 정확히 측정하는 정밀 게이지로 구성된다. Pirani gauge는 늘 그렇듯 Pirani 선생이 개발한 게..