진공에 대해 알려주마.

리크디텍터(Leak Detector)는 챔버에 누설(Leak)이 발생하는 경우 해당 리크 포인트(Leak point)를 정확하게 찾기 위한 장치이다.반도체/디스플레이 라인의 진공 설비에서 가장 흔하게 사용되는 장치이며 챔버(Chamber)의 펌핑 라인(Pumping line)에 리크 디텍터(Leak detector)를 설치하고 설비 주위에 헬륨가스(Helium gas)를 뿌리고 헬륨 가스에 챔버에 유입되는지를 확인하고 해당 위치를 찾기 위한 도구이다.아래는 동영상은 Pfeiffer vacuum / 보쉬 사에서 제작한 리크 디텍터 영상이다. 이해하는데 도움이 될듯하다. 파이퍼 베큠에서 만든 Leak Detector 원리를 알려주는 동영상https://youtu.be/PHHnySYpyHI 보쉬에서 만든 L..

ESC (Electro-Static Chuck, 정전척)는 웨이퍼나 글라스를 물리적인 방법이 아닌 정전기를 이용하여 고정하는 장치다. 물리적인 방법으로 고정하는 방식은 접촉을 기본으로 하는 방식이라 재료에 흠집을 내거나 기체의 흐름을 방해하기도 한다. 또한 공정 챔버 내부에 구동하는 부분이 많아지면 파티클(particle)과 고장에서 자유로울 수 없다. 이러한 단점을 극복하기 위하여 정전척(ESC)을 사용한다. 더욱이 대면적 글라스의 경우에는 글라스를 효율적으로 잡을 수 있는 방법이 없다. ESC가 유일한 방법이다. 그렇지 않으면 긴 세라믹 막대로 글라스의 패턴을 피해  가로 질러 눌러 줘야 한다. 이는 많은 구동부가 필요하며 앞에서 말한 단점을 가지게 된다. ESC의 구조는 이해는 하고 있으나 설명하기..

Pressure controller는 별도의 장치 없이 장치 단독으로 장치 뒷단의 압력을 자동 조절해 주는 압력 조절 장치이다. 아래와 같이 공정용 챔버의 경우는 Pressure gauge의 값을 읽어 설정한 압력보다 높아지면 APC를 열어 압력을 낮추고 낮아지면 닫아 압력을 높이는 동작을 반복하여 챔버에 원하는 압력을 유지하는 시스템이다. 배출되는 유량을 제어하여 압력을 조절하는 Down stream pressure control 방식이다.  이는 공정 챔버의 압력을 정밀하게 유지해야 하는 경우 사용된다. 초 정밀 게이지와 APC, TMP 등을 사용하여 공정 챔버의 압력을 아주 미세하게 조절하기 위하여 주로 사용되는 방식이다. 하지만 일정한 부분에 압력을 유지햐야 하는 경우 이런 복잡한 시스템을 구성할..