Leak Detector

리크디텍터(Leak Detector)는 챔버에 누설(Leak)이 발생하는 경우 해당 리크 포인트(Leak point)를 정확하게 찾기 위한 장치이다.

반도체/디스플레이 라인의 진공 설비에서 가장 흔하게 사용되는 장치이며 챔버(Chamber)의 펌핑 라인(Pumping line)에 리크 디텍터(Leak detector)를 설치하고 설비 주위에 헬륨가스(Helium gas)를 뿌리고 헬륨 가스에 챔버에 유입되는지를 확인하고 해당 위치를 찾기 위한 도구이다.

아래는 동영상은 Pfeiffer vacuum / 보쉬 사에서 제작한 리크 디텍터 영상이다. 이해하는데 도움이 될듯하다.

 

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파이퍼 베큠에서 만든 Leak Detector 원리를 알려주는 동영상
https://youtu.be/PHHnySYpyHI

 

보쉬에서 만든 Leak Detector 원리를 알려주는 동영상
https://youtu.be/ZF5RXGXExhA?si=HVT2wixMod4gMvJ3