:: 진공에 대해 알려주마.

진공 설비에는 반드시 압력게이지(Pressure gauge)가 설치되어야 한다. 공정을 위한 챔버 혹은 버퍼 챔버등의 압력을 확인하기 위해서는 반드시 설치되어야 하는 필수템이다. 챔버의 압력이 낮으면 챔버를 손으로는 열 수 없으며 공압등의 실린더를 이용하여 열게 되면 엄청난 충격으로 챔버 내부에 파츠를 손상시킬 수 있다. 챔버에 웨이퍼나 글라스가 있다면 충격파로 형체를 알아보기 어려울 정도로 파손될 것이다. 챔버와 대기의 Gate door, 챔버와 챔버 사이의 gate door 등 두 공간을 격리하는 isolation valve를 구동하기 전에는 무조건 상호 압력을 확인하고 두 공간의 압력차를 최소화하여야 한다. 제어에서는 압력의 차이를 파라미터로 두고 두 공간의 압력차이가 설정치 이하일 때만 door를..

AOI(자동광학검사기) 셋업을 진행하였다. 2세대 글라스, 8세대 글라스, 6세대 마스크, 300mm 웨이퍼 등 여러 종류의 검사기 셋업을 경험하였다. 내가 생각하는 AOI 설비는 모션 제어와 카메라 제어가 전부라 해도 과언이 아닌 것 같다. 다른 분야에서는 아니라고 할지도 모르겠지만... 카메라는 비전 엔지니어가 별도로 셋업과 셋팅 그리고 테스트를 진행하고 관리한다. 카메라에 능하고 이미지 처리에 특화되어 고급 인력으로 분류된다. 그리고 좋은 대접을 받는다. 그 외 모든 부분은 제어(Software) 엔지니어가 처리한다. 카메라당 한대의 비전 PC를 운영하며 이 모든 연결은 소켓 통신을 주로 사용하여 신호와 데이터를 주고받는다. 제어는 웨이퍼나 글라스 꼭 잡아 고속으로 이동하며 비전 카메라가 원하는 스..

MODBUS-TCP를 사용한다. C++인 경우에는 "libModBus"를 사용해 보시고 여기서는 C#으로 ... EtherNet을 사용하여 통신하는 IO Module을 사용하게 되었다. 통신 프로토콜은 Modbus TCP를 사용한다. 메뉴얼을 보고 통신 패킷을 구성하여 값을 읽고 쓰기 검토하였다. 소켓 구성하고 패킷 작성하고 리턴 밸류 파싱하고 귀찮다. 그냥 다운로드하여 쓰자. 간단한 것으로 검토하여 C#용 SharpModBus를 사용하기로 하였다. 보기에는 간단해 보였다. NuGet 패키지 관리로 다운받아 설치하고 아래와 같이 선언하고 포트를 열어 바로 사용하면 가능하다. Digital(Coil)은 bool로 처리하며 Analog(Register)는 unsigned short으로 읽고 쓰면 된다. 거의..

ESC (Electro-Static Chuck, 정전척)는 웨이퍼나 글라스를 물리적인 방법이 아닌 정전기를 이용하여 고정하는 장치다. 물리적인 방법으로 고정하는 방식은 접촉을 기본으로 하는 방식이라 재료에 흠집을 내거나 기체의 흐름을 방해하기도 한다. 또한 공정 챔버 내부에 구동하는 부분이 많아지면 파티클(particle)과 고장에서 자유로울 수 없다. 이러한 단점을 극복하기 위하여 정전척(ESC)을 사용한다. 더욱이 대면적 글라스의 경우에는 글라스를 효율적으로 잡을 수 있는 방법이 없다. ESC가 유일한 방법이다. 그렇치 않으면 긴 세라믹 막대로 글라스의 패턴을 피해 가로 질러 눌러 줘야 한다. 이는 많은 구동부가 필요하며 앞에서 말한 단점을 가지게 된다. ESC의 구조는 이해는 하고 있으나 설명하기에..

요즘은 윈도우를 기본으로 하여 설비 제어 프로그램을 구성하게 된다. 요즘 윈도우는 매우 안정적이라 OS가 Down 되는 경우가 거의 없지만 이전에는 일주일이 멀다 하고 죽어 나갔다. OS가 문제인 경우도 있었으며 제어 프로그램이 문제가 되는 경우도 있다. 이런 경우 가장 문제가 되는 것은 출력 제어이다. 출력이 나가는 상태에서 OS나 프로그램이 죽으면 출력은 그대로 유지된다. 특정시간 동안 진행되어야 할 공정이 시간을 초과하게 된다. 이때는 웨이퍼는 물론이고 설비의 하드웨어까지도 손상을 줄 수 있다. 제어 해야할 장치가 아래와 같다. 동작중 PC가 다운되면 즉시 적절한 조치가 취해져야 한다. 특히 식각(Etching)은 즉시 멈추도록 해야 한다. 프로그램을 사용 중에 OS 혹은 제어 프로그램이 원인이 되..

내가 아는 진공 펌프는 아래와 같이 초강력 고성능 모델이었다. https://hivac.tistory.com/25 반도체에서는 펌프 한대를 사용하였으며 디스플레이 설비에서는 2~3대를 묶어서 강력한 빨힘으로 챔버를 펌핑하였다. 챔버를 순식간에 진공 상태로 만든다. 소리도 강력하다. 펌핑하는 소리만 들어도 무슨 작업을 진행하는지 대략 알 수 있다. 최근 광학 검사기를 개발 하면서 그리 세지 않은 진공을 필요로 하는 경우가 있다. 이러한 경우 굳이 하우스 베큠(유틸리티 진공 라인)을 연결할 필요 없이 설비 내에서 진공을 만들어 사용한다. 이러한 경우 공압을 이용하여 저진공을 만들 수 있는 장치가 있다. 광학 검사기에서는 웨이퍼만 Chucking 하는 용도로 사용한다. Vacuum ejector라 불리며 핸들..

누군가 말했지. 프로그램 개발보다 형변환 하다가 개발 시간을 다보낸다고... 그래서 여기 모아보았다. 프로그램 개발시 필요한 형변환을 중심으로 각종 필요한 항목을 업데이트 할 예정이다. 물론 모두 테스트 완료 되었거나 실제 사용하는 Code들 이다. C++ CString to Char* (출처 https://sggilsroom.tistory.com/126 ) char Buffer[255] = ""; CString szString; size_t CharactersConverted = 0; wcstombs_s(&CharactersConverted, Buffer, szString.GetLength()+1, szString, _TRUNCATE); 문자열을 구분자로 분리 함수와 호출 예제 (출처 ?) // 스트링..

Pressure controller는 별도의 장치 없이 장치 단독으로 장치 뒷단의 압력을 자동 조절해 주는 압력 조절 장치이다. 아래와 같이 공정용 챔버의 경우는 Pressure gauge의 값을 읽어 설정한 압력보다 높아지면 APC를 열어 압력을 낮추고 낮아지면 닫아 압력을 높이는 동작을 반복하여 챔버에 원하는 압력을 유지하는 시스템이다. 배출되는 유량을 제어하여 압력을 조절하는 Down stream pressure control 방식이다. 이는 공정 챔버의 압력을 정밀하게 유지해야 하는 경우 사용된다. 초 정밀 게이지와 APC, TMP 등을 사용하여 공정 챔버의 압력을 아주 미세하게 조절하기 위하여 주로 사용되는 방식이다. 하지만 일정한 부분에 압력을 유지햐야 하는 경우 이런 복잡한 시스템을 구성할 ..

"A\0B\0C\0\0\0\0\0\0\0\0\0" 받아온 문자열이 이 모양 이다. 이걸 어떻게 처리하지... SharedMemeroy를 이용하여 통신을 시도하였다. string 문자열을 받아 Char*로 변환해야 한다. C#에서는 MMF에 write 한 그대로 read가 가능했다. 잘 사용하였다. 하지만 이번에 C++과 C#을 교차하여 값을 주고받으려 한다. MMF(Memoty Mapped File)을 이용하여 C#에서 문자열을 쓰고 C++에서 읽어오면 아래 그림과 같이 한 글자마다 사이에 \0가 붙어 이를 처리하면 한 글자만 인식하여 원하는 대로 처리가 되지 않는다. 찾아보니 VS2013 쯤 부터 적용된 멀티 바이트 현상이다. 다 아는 내용 이겠지만 아래 사이트를 참고 하시라. https://codin..

RS-485 통신 방식은 232 통신에 비해 장점이 많다. RS-232 통신은 1:1 통신 방식으로 단순하고 문제가 발생 시 문제점 파악이 쉽다. GND와 Tx, Rx로 구분된 3개의 신호로 주는 쪽과 받는 쪽의 문제를 명확히 알 수 있다. (Full duplex, Single ended type) 통신 거리는 10미터를 넘는 경우 노이즈에 취약하다. Tx와 Rx가 서로 반대로 연결되는 케이블 꼬임 문제 외에는 큰 이슈가 없다. 현장에서 통신이 안된다면 Tx와 Rx를 바꾸어 연결하면 보통은 문제가 해결된다. 아니면 Tx와 GND를 찍어보면 9 볼트가 측정된다. 각각의 장치에서 GND와 찍어봐서 9 볼트가 측정되면 거기가 Tx인 것이다. RS-485 2 wire는 두 개의 선으로 여러 대의 장치와 통신이 ..