진공에 대해 알려주마.

Data grid view control 테스트 화면입니다.화면을 만들기 위하여 세팅값을 테스트하면서 찾은 내용을 기록한다. 참고하시라. 우선 작업을 위한 항목을 테스트 하고 추후 다른 기능도 테스트하여 추가토록 하겠다.윈도우에서는 구현 방법이 다를 뿐 같은 기능을 구현할 수 있다. 여기서도 C#을 사용하는 이유는 윈 품을 사용하기 위해서다. 상대적으로 많이 쉬우니까...그리고 한 가지 더 말하면 여기서 설정하는 옵션은 아래와 같이 프로그램 코드에서 조정이 가능하다. // Test tabControl this.Text = "ABC"; tabControl.Alignment = TabAlignment.Left; tabControl.Appearance = TabAppearance.Normal; ..

산업용 설비 PC 제어 프로그램 관리하기이글은 사이트를 개설하고 처음으로 쓴 글이다. 티스토리의 에디터가 변경이 되면서 폼이 마음에 들지 않아 수정/편집하여 다시 게시한다.    반도체 제조 설비를 제작하는 회사에서 십여 년 근무하면서 국내에서 최초로 양산 라인에 설비를 제작 납품하는 귀한 경험을 하고 이후 디스플레이 화면 패널을 생산하는 제조 설비 분야에서 십수 년간 PC 제어 분야의 설계, 테스트, 셋업을 진행하면서 배운 노하우를 기록한다.제어 프로그램은 자동으로 움직이는 장치 즉 사람의 개입없이 자동화되어 움직이는 설비등을 제어하는 프로그램으로 장치의 Controller 역할로 24시간 구동되며 문제 발생 시 빠른 문제 해결을 최우선으로 둔다. 이런 종류의 프로그램을 개발 혹은 패치하는 경우 도움이..

릴리프 밸브(Relief valve)는 안전밸브 정도로 해석할 수 있겠다.챔버 또는 용기가 가압되는 경우 특정 압력 이상 도달하면 강제 개방하여 챔버가 가압으로 폭발하거나 파손되는 것을 방지하고 내부의 파츠를 보호하는 기능을 하는 안전장치이다.진공 설비의 제어 프로그램을 개발할 때에는 제어가 전혀 관여하지 않는 순수 하드웨어 제품이다. 최후의 보루인 것이다. 하지만 센서 고장이나 게이지 오류 혹은 PC Down으로 ovet vent 되는 경우 동작할 것이다.  그럼 안전밸브의 역할은 무엇인가? 말 그대로 안전을 위한 최종 관문 역할을 한다. Vent 중에 오류등으로 과하게 vent 되는 경우 이 밸브가 동작하여 over vent를 막아준다.챔버가 과하게 vent 되면 챔버 내부 파츠에 충격을 준다. Up..

dataGridView 컨트롤을 사용하여 프로그램을 만드는 경우 excel등에서 한 번에 많은 데이터를 붙여넣기 할 때 필요한 코드를 구현하였다. 그리고 클립보드의 저장되는 구조를 함께 설명하였으니 참고하시기 바란다.여기에서는 텍스트 기반의 데이터를 복붙하고자 하였다. 일반 텍스트는 보이는 그대로 클립보드에 저장된다. 오피스의 엑셀의 경우는 아래에 보이는 것처럼 저장되며 이를 이용하여 dataGridView control에 붙여 넣는 방법도 구현하였다.   위와 같이 엑셀에서 복사하기를 하면 클립보드에 아래와 같은 포멧으로 저장된다. 행간은 "\r\n"으로 구분되고 셀간의 구분은 "\t"로 정의되어 있다. 이를 텍스트 파일 처리 하듯이 처리하면 된다.  데이터를 행간 구분자인 "\r\n"을 이용하여 sp..

EFEM (Equipment Front End Module)은 말 그대로 설비 앞쪽에 설치된 장치이다. FOUP에 들어있는 웨이퍼를 한 장씩(혹은 여러 장) 꺼내어 공정 설비 혹은 측정 설비에 투입하는 장치를 말한다.EFEM에 대한 정보는 아주 많다. 특히 유튜브에 찾아보면 동영상을 비롯하여 자사의 홍보 영상까지 자세히 설명되어 있다. 여기서 따로 설명하기에는 자료도 없다. 하지만 얼마 전 EFEM을 제어하게 되어 정리하는 정도를 설명을 해 본다. 시간이 되면 KT의 EFEM의 제어 프로그램을 올려 볼까 한다. 반도체 칩 생산 라인의 생산 기본 단위는 웨이퍼이다.  설비에서는 웨이퍼 단위로 공정을 진행하지만 설비 간 이동은 FOUP에 담겨 고속 이동하게 된다. https://www.youtube.com/..

진공 설비에는 반드시 압력게이지(Pressure gauge)가 설치되어야 한다. 공정을 위한 챔버 혹은 버퍼 챔버등의 압력을 확인하기 위해서는 반드시 설치되어야 하는 필수템이다. 챔버의 압력이 낮으면 챔버를 손으로는 열 수 없으며 공압등의 실린더를 이용하여 열게 되면 엄청난 충격으로 챔버 내부에 파츠를 손상시킬 수 있다. 챔버에 웨이퍼나 글라스가 있다면 충격파로 형체를 알아보기 어려울 정도로 파손될 것이다. 챔버와 대기의 Gate door, 챔버와 챔버 사이의 gate door 등 두 공간을 격리하는 isolation valve를 구동하기 전에는 무조건 상호 압력을 확인하고 두 공간의 압력차를 최소화하여야 한다. 제어에서는 압력의 차이를 파라미터로 두고 두 공간의 압력차이가 설정치 이하일 때만 door를..

AOI(자동광학검사기) 셋업을 진행하였다. 2세대 글라스, 8세대 글라스, 6세대 마스크, 300mm 웨이퍼 등 여러 종류의 검사기 셋업을 경험하였다. 내가 생각하는 AOI 설비는 모션 제어와 카메라 제어가 전부라 해도 과언이 아닌 것 같다. 다른 분야에서는 아니라고 할지도 모르겠지만... 카메라는 비전 엔지니어가 별도로 셋업과 셋팅 그리고 테스트를 진행하고 관리한다. 카메라에 능하고 이미지 처리에 특화되어 고급 인력으로 분류된다. 그리고 좋은 대접을 받는다. 그 외 모든 부분은 제어(Software) 엔지니어가 처리한다. 카메라당 한대의 비전 PC를 운영하며 이 모든 연결은 소켓 통신을 주로 사용하여 신호와 데이터를 주고받는다. 제어는 웨이퍼나 글라스 꼭 잡아 고속으로 이동하며 비전 카메라가 원하는 스..

MODBUS-TCP를 사용한다. C++인 경우에는 "libModBus"를 사용해 보시고 여기서는 C#으로 ... EtherNet을 사용하여 통신하는 IO Module을 사용하게 되었다. 통신 프로토콜은 Modbus TCP를 사용한다. 메뉴얼을 보고 통신 패킷을 구성하여 값을 읽고 쓰기 검토하였다. 소켓 구성하고 패킷 작성하고 리턴 밸류 파싱하고 귀찮다. 그냥 다운로드하여 쓰자. 간단한 것으로 검토하여 C#용 SharpModBus를 사용하기로 하였다. 보기에는 간단해 보였다. NuGet 패키지 관리로 다운받아 설치하고 아래와 같이 선언하고 포트를 열어 바로 사용하면 가능하다. Digital(Coil)은 bool로 처리하며 Analog(Register)는 unsigned short으로 읽고 쓰면 된다. 거의..

ESC (Electro-Static Chuck, 정전척)는 웨이퍼나 글라스를 물리적인 방법이 아닌 정전기를 이용하여 고정하는 장치다. 물리적인 방법으로 고정하는 방식은 접촉을 기본으로 하는 방식이라 재료에 흠집을 내거나 기체의 흐름을 방해하기도 한다. 또한 공정 챔버 내부에 구동하는 부분이 많아지면 파티클(particle)과 고장에서 자유로울 수 없다. 이러한 단점을 극복하기 위하여 정전척(ESC)을 사용한다. 더욱이 대면적 글라스의 경우에는 글라스를 효율적으로 잡을 수 있는 방법이 없다. ESC가 유일한 방법이다. 그렇지 않으면 긴 세라믹 막대로 글라스의 패턴을 피해  가로 질러 눌러 줘야 한다. 이는 많은 구동부가 필요하며 앞에서 말한 단점을 가지게 된다. ESC의 구조는 이해는 하고 있으나 설명하기..

요즘은 윈도우를 기본으로 하여 설비 제어 프로그램을 구성하게 된다. 요즘 윈도우는 매우 안정적이라 OS가 Down 되는 경우가 거의 없지만 이전에는 일주일이 멀다 하고 죽어 나갔다. OS가 문제인 경우도 있었으며 제어 프로그램이 문제가 되는 경우도 있다. 이런 경우 가장 문제가 되는 것은 출력 제어이다. 출력이 나가는 상태에서 OS나 프로그램이 죽으면 출력은 그대로 유지된다. 특정시간 동안 진행되어야 할 공정이 시간을 초과하게 된다. 이때는 웨이퍼는 물론이고 설비의 하드웨어까지도 손상을 줄 수 있다. 제어 해야할 장치가 아래와 같다. 동작중 PC가 다운되면 즉시 적절한 조치가 취해져야 한다. 특히 식각(Etching)은 즉시 멈추도록 해야 한다. 프로그램을 사용 중에 OS 혹은 제어 프로그램이 원인이 되..