진공에 대해 알려주마.

내가 아는 진공 펌프는 아래와 같이 초강력 고성능 모델이었다. https://hivac.tistory.com/25반도체에서는 펌프 한대를 사용하였으며 디스플레이 설비에서는 2~3대를 묶어서 강력한 빨힘으로 챔버를 펌핑하였다. 챔버를 순식간에 진공 상태로 만든다. 소리도 강력하다. 펌핑하는 소리만 들어도 무슨 작업을 진행하는지 대략 알 수 있다. 최근 광학 검사기를 개발 하면서 그리 세지 않은 진공을 필요로 하는 경우가 있다. 이러한 경우 굳이 하우스 베큠(유틸리티 진공 라인)을 연결할 필요 없이 설비 내에서 진공을 만들어 사용한다. 이러한 경우 공압을 이용하여 저진공을 만들 수 있는 장치가 있다. 광학 검사기에서는 웨이퍼만 Chucking 하는 용도로 사용한다. Vacuum ejector라 불리며 핸들러..

누군가 말했지. 프로그램 개발보다 형변환 하다가 개발 시간을 다보낸다고... 그래서 여기 모아보았다. 프로그램 개발시 필요한 형변환을 중심으로 각종 필요한 항목을 업데이트 할 예정이다. 물론 모두 테스트 완료 되었거나 실제 사용하는 Code들 이다. C++ CString to Char* (출처 https://sggilsroom.tistory.com/126 ) char Buffer[255] = ""; CString szString; size_t CharactersConverted = 0; wcstombs_s(&CharactersConverted, Buffer, szString.GetLength()+1, szString, _TRUNCATE); 문자열을 구분자로 분리 함수와 호출 예제 (출처 ?) // 스트링..

Pressure controller는 별도의 장치 없이 장치 단독으로 장치 뒷단의 압력을 자동 조절해 주는 압력 조절 장치이다. 아래와 같이 공정용 챔버의 경우는 Pressure gauge의 값을 읽어 설정한 압력보다 높아지면 APC를 열어 압력을 낮추고 낮아지면 닫아 압력을 높이는 동작을 반복하여 챔버에 원하는 압력을 유지하는 시스템이다. 배출되는 유량을 제어하여 압력을 조절하는 Down stream pressure control 방식이다.  이는 공정 챔버의 압력을 정밀하게 유지해야 하는 경우 사용된다. 초 정밀 게이지와 APC, TMP 등을 사용하여 공정 챔버의 압력을 아주 미세하게 조절하기 위하여 주로 사용되는 방식이다. 하지만 일정한 부분에 압력을 유지햐야 하는 경우 이런 복잡한 시스템을 구성할..

"A\0B\0C\0\0\0\0\0\0\0\0\0" 받아온 문자열이 이 모양 이다. 이걸 어떻게 처리하지... SharedMemeroy를 이용하여 통신을 시도하였다. string 문자열을 받아 Char*로 변환해야 한다. C#에서는 MMF에 write 한 그대로 read가 가능했다. 잘 사용하였다. 하지만 이번에 C++과 C#을 교차하여 값을 주고받으려 한다. MMF(Memoty Mapped File)을 이용하여 C#에서 문자열을 쓰고 C++에서 읽어오면 아래 그림과 같이 한 글자마다 사이에 \0가 붙어 이를 처리하면 한 글자만 인식하여 원하는 대로 처리가 되지 않는다. 찾아보니 VS2013 쯤 부터 적용된 멀티 바이트 현상이다. 다 아는 내용 이겠지만 아래 사이트를 참고 하시라. https://codin..

RS-485 통신 방식은 232 통신에 비해 장점이 많다. RS-232 통신은 1:1 통신 방식으로 단순하고 문제가 발생 시 문제점 파악이 쉽다. GND와 Tx, Rx로 구분된 3개의 신호로 주는 쪽과 받는 쪽의 문제를 명확히 알 수 있다. (Full duplex, Single ended type) 통신 거리는 10미터를 넘는 경우 노이즈에 취약하다. Tx와 Rx가 서로 반대로 연결되는 케이블 꼬임 문제 외에는 큰 이슈가 없다. 현장에서 통신이 안된다면 Tx와 Rx를 바꾸어 연결하면 보통은 문제가 해결된다. 아니면 Tx와 GND를 찍어보면 9 볼트가 측정된다. 각각의 장치에서 GND와 찍어봐서 9 볼트가 측정되면 거기가 Tx인 것이다. RS-485 2 wire는 두 개의 선으로 여러 대의 장치와 통신이 ..

이전에 이런 글을 썼는데 뭔가 좀 아쉬워 다르게 다시 써본다. 시리얼 통신을 처음 접하는 사람도 쉽게 이해 할수 있도록 써본다. https://hivac.tistory.com/20 https://hivac.tistory.com/11 https://hivac.tistory.com/12 https://hivac.tistory.com/13 시리얼 통신, 패러럴 통신이 공존하던 시대가 있었다. 통신을 위해서는 저속의 시리얼 통신이 프린터와 같은 고속의 통신에는 패러럴 통신이 사용되었다. 그러나 이제는 USB, EtherNet이 주류가 되었다. 예전에 고속이라던 패러럴 통신은 이제 저쪽으로 사라져 갔다. 예전에 저속이라던 시리얼 통신은 장치간 문자를 전달하기 위하여 개발된 신호 체계이다. 문자마다 신호를 정의하여..

CC-LINK를 사용하는 설비를 서비스하게 되었다. 설비가 셋업 중이라 Main control program이 제대로 동작하지 않는다. 그래서 임시로 사용할 I/O Check 프로그램을 작성하였다. 이전에 작성한 것을 조금 수정하여 만들어 보았다. 앞서 미쓰비시 제품 중 PC에 설치되는 scanner 보드에 접근하기 위한 방법은 모두 동일하다. 제공된 라이브러리를 이용하여 , 국번, 디바이스, 어드레스를 세팅하여 함수를 호출하면 된다. MelsecNet-H, MelsecNet-G, CC-LICK 보드 모두 동일하며 읽고 쓰는 기본 단위가 8 비트, byte 사이즈로 되어 있다. PLC에 접근하다 보면 기본 단위가 WORD라는 것을 알게 된다. 초기에 byte라고 쓰여 있는데도 word로 착각하고... 아..

초고속 초정밀 PC Based 모션 컨트롤러 우리나라 디스플레이 장비가 활성화되면서 설비에 초정밀 모션 컨트롤이 필요로 하게 되었다. 산업 초기에 왜국의 설비를 벤치 마킹 하던 국내 설비 제작사는 이미 검증된 컨트롤러를 선정하기를 원했을 것이다. 그 대표 주자가 PMAC이다. 이는 초기 시행착오를 줄여 시간과 비용을 줄여 줄 것은 당연한 것이다. PC Based motion controller로 디스플레이 시장을 휩쓸던 PMAC이 언제가 부터 ACS에 밀리는 듯하다 Power PMAC으로 다시 시장을 석권을 노리는 듯하다. (계속 업계 정상이었는지도 모르지만 현장의 느낌은 ACS에 밀리는 듯한...) 감속기의 비율에 따라 달라 지겠지만 기본 단위가 um(마이크로미터, 0.001mm)이다. 글라스의 패턴 ..

고진공 설비는 다양한 Pumping down 시나리오를 가진다. 고진공의 경우 고진공 펌프가 필요하며 TMP, CRYO가 많이 사용된다. 여기서는 내 전문이었던 etch를 기준으로 하여 APC + TMP로 설명하겠다. 업계에서 사용하는 공정용 압력 조절 밸브는 주로 VAT, NorCal 그리고 몇 가지 제품이 사용되고 있다. 초기에는 VAT가 거의 독점하다시피 하였고 이후 많은 회사들이 추격하는 모양새이다. NorCal Valve를 말하니 그 옛날 NorCal Valve가 디스플레이용 대구경 pendulum valve 제품을 선보여 이를 자사 설비에 테스트하던 때가 기억난다. VAT사가 거의 독점적 지위로 고가 정책을 유지하던 당시 우리 개발팀 Project manager가 그 대안으로 NorCal va..

WINDOWS XP를 설치하다. [https://ko.wikipedia.org/wiki/%EC%9C%88%EB%8F%84%EC%9A%B0_XP] 윈도 XP를 설치하여 사용하려 한다. 서비스해야 하는 설비가 XP를 사용한다. 요즘 PC에는 아예 설치가 되지 않아 서비스를 위한 작업은 윈도 10에 VM으로 XP를 사용하였다. XP가 설치 가능한 PC가 있고 메모리가 얼마까지 인식하고 등등은 잘 모르겠고 아주 오래된 10년 넘은 노트북 컴퓨터를 하나 찾았다. 윈 10 홈이 설치하여 사용하였으나 너무 느리고 하여 버리기 직전이었다. 여기 XP를 깔아 사용해 볼까 하고 이것저것 뒤져 보니 설치 가능하겠다 싶어 시도를 해 본다. 여기에서는 바로 그 노트북에 윈도 XP를 설치하는 과정이 되겠다. 윈도 7이 설치되어 ..