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목록진공/진공 (3)
:: 진공에 대해 알려주마.
PLASMA 내가 아는 플라스마(Plasma)는 단순 빛이다. 모든 것이 준비된 챔버에 필요한 가스를 흘려 넣고 RF Generator를 켜면 챔버에 밝은 빛이 발생한다. 가스와 RF의 출력에 따라 색깔과 밝기가 다르긴 하지만 파스텔톤의 밝은 빛이다. 프라즈마 이론은 아래의 사이트에 아주 잘 설명되어 있다. https://m.blog.naver.com/jgw1030/221171512475 이 빛을 이용하여 기판에 미세한 구멍을 내거나 표면을 깎아내면 Etching, Target의 표면을 뜯어내 기판에 입히면 Sputter, 그리고 가스의 반응을 가속시키는 일도 한다. 여기서는 식각을 주로 이야기하겠다. 프라즈마를 이용하여 식각에 사용되는 단위는 Å (Ångström, 옹스트롬)이고 1 옴스트롬은 아래와 ..
반도체 공정에서 가장 중요한 것이 진공이다. 챔버나 용기의 진공 상태를 만들거나 유지하기 위하여 사용되는 펌프를 진공 펌프라 한다. 왜 진공을 유지해야 하는지는 주변 공정 엔지니어에게 물어보라. 여기서는 공기와 공기 중 부유물 모두가 이물질로 취급한다. 우리가 사는 대기를 물이라 생각하면 쉽다. 반도체 공정에서는 물이 없는 곳에서 여러 종류의 특수한 물만으로 공정을 진행하고 싶은 것이다. 여기에 가장 기본이 용기안의 물을 뽑아내는 진공펌프 인것이다. 물을 뽑아 제거하고 사용하고자 하는 특수한 물을 일정하게 흐르도록 하는 압력을 낮추는 역할을 한다. 다양한 진공 펌프를 사용하고 있으나 가장 대표적인 것이 저 진공 펌프인 dry pump와 고진공 펌프인 TMP와 CRYO 펌프이다. 여기에서는 dry ethc..
진공(Vacuum) 진공, 眞空 명사 1. 물리학 물질이 전혀 존재하지 않는 공간. 인위적으로 만들어 낼 수는 없고, 실제로는 극히 저압의 상태를 말함. 우주 공간도 진공도는 높으나, 역시 미량의 성간 물질(星間物質)이 존재함. 2. 그 자체의 활동도 정지되고 외부로부터 작용도 없는 상태. 공백. 구글에서 "진공" 으로 찾은 결과 진공이란 무엇인가? 흔히 우주 공간이 진공 상태라고 이야기 한다. 아무것도 없는 기체 조차 존재 하지 않는 상태를 말한다. 우리 생활에서 진공을 이용한 장치로 "진공청소기"를 들수 있다. 전기 모터를 이용하여 청소기내의 공기 청소기 외부로 배출하면 청소기 내부가 낮은 압력의 진공 상태가 되어 청소기 앞쪽의 먼지를 청소기 내부로 흡입하고 그 과정에서 먼지를 필터를 통하여 걸러지는..