:: 진공에 대해 알려주마.

ESC (Electro-Static Chuck, 정전척)는 웨이퍼나 글라스를 물리적인 방법이 아닌 정전기를 이용하여 고정하는 장치다. 물리적인 방법으로 고정하는 방식은 접촉을 기본으로 하는 방식이라 재료에 흠집을 내거나 기체의 흐름을 방해하기도 한다. 또한 공정 챔버 내부에 구동하는 부분이 많아지면 파티클(particle)과 고장에서 자유로울 수 없다. 이러한 단점을 극복하기 위하여 정전척(ESC)을 사용한다. 더욱이 대면적 글라스의 경우에는 글라스를 효율적으로 잡을 수 있는 방법이 없다. ESC가 유일한 방법이다. 그렇치 않으면 긴 세라믹 막대로 글라스의 패턴을 피해 가로 질러 눌러 줘야 한다. 이는 많은 구동부가 필요하며 앞에서 말한 단점을 가지게 된다. ESC의 구조는 이해는 하고 있으나 설명하기에..