진공에 대해 알려주마.

고진공 설비는 다양한 Pumping down 시나리오를 가진다. 고진공의 경우 고진공 펌프가 필요하며 TMP, CRYO가 많이 사용된다. 여기서는 내 전문이었던 etch를 기준으로 하여 APC + TMP로 설명하겠다. 업계에서 사용하는 공정용 압력 조절 밸브는 주로 VAT, NorCal 그리고 몇 가지 제품이 사용되고 있다. 초기에는 VAT가 거의 독점하다시피 하였고 이후 많은 회사들이 추격하는 모양새이다. NorCal Valve를 말하니 그 옛날 NorCal Valve가 디스플레이용 대구경 pendulum valve 제품을 선보여 이를 자사 설비에 테스트하던 때가 기억난다. VAT사가 거의 독점적 지위로 고가 정책을 유지하던 당시 우리 개발팀 Project manager가 그 대안으로 NorCal va..

반도체 공정에서는 대기 중에서 많은 공정이 이루어지지만 생각보다 많은 설비가 진공을 사용한다. 챔버나 용기의 진공 상태를 만들거나 유지하기 위하여 사용되는 펌프를 진공 펌프라 한다. 왜 진공을 유지해야 하는지는 주변 공정 엔지니어에게 물어보라. 여기서는 공기와 공기 중 부유물 모두가 이물질로 취급한다.우리가 사는 대기를 물이라 생각하면 쉽다. 반도체 공정에서는 물이 없는 곳에서 여러 종류의 특수한 물만으로 공정을 진행하고 싶은 것이다. 여기에 가장 기본이 용기 안의 물을 뽑아내는 진공펌프 인것이다. 물을 뽑아 제거하고 사용하고자 하는 특수한 물을 일정하게 흐르도록 하는 압력을 낮추는 역할을 한다. 다양한 진공 펌프를 사용하고 있으나 가장 대표적인 것이 저 진공 펌프인 dry pump와 고진공 펌프인 TM..