진공에 대해 알려주마.

"공부다"반도체 공정 진행 중 챔버의 압력을 정밀하게 측정할 수 있는 게이지를 사용하여 설비를 제작할 계획이다. 진공 설비에 프로세스 가스를 사용하여 원하는 압력의 공정을 진행하기 위해서는 이에 적절한 압력 게이지를 필요로 한다. 당연히 가정 먼저 후보가 되는 MKS Baratron Gauge일 것이다.해당 게이지에 대해 잘 설명된 페이지가 있어 소개한다.https://lyh2019.tistory.com/8#:~:text=Introduction,%EC%97%90%20%EC%98%81%ED%96%A5%EC%9D%84%20%EB%B0%9B%EC%A7%80%20%EC%95%8A%EC%8A%B5%EB%8B%88%EB%8B%A4. 여기서는 언제나처럼 실제 사용을 위한 내용을 기술하므로 특정 영역에 대해서만 이..