진공에 대해 알려주마.

진공 설비에는 반드시 압력게이지(Pressure gauge)가 설치되어야 한다. 공정을 위한 챔버 혹은 버퍼 챔버등의 압력을 확인하기 위해서는 반드시 설치되어야 하는 필수템이다. 챔버의 압력이 낮으면 챔버를 손으로는 열 수 없으며 공압등의 실린더를 이용하여 열게 되면 엄청난 충격으로 챔버 내부에 파츠를 손상시킬 수 있다. 챔버에 웨이퍼나 글라스가 있다면 충격파로 형체를 알아보기 어려울 정도로 파손될 것이다. 챔버와 대기의 Gate door, 챔버와 챔버 사이의 gate door 등 두 공간을 격리하는 isolation valve를 구동하기 전에는 무조건 상호 압력을 확인하고 두 공간의 압력차를 최소화하여야 한다. 제어에서는 압력의 차이를 파라미터로 두고 두 공간의 압력차이가 설정치 이하일 때만 door를..

고진공 설비는 다양한 Pumping down 시나리오를 가진다. 고진공의 경우 고진공 펌프가 필요하며 TMP, CRYO가 많이 사용된다. 여기서는 내 전문이었던 etch를 기준으로 하여 APC + TMP로 설명하겠다. 업계에서 사용하는 공정용 압력 조절 밸브는 주로 VAT, NorCal 그리고 몇 가지 제품이 사용되고 있다. 초기에는 VAT가 거의 독점하다시피 하였고 이후 많은 회사들이 추격하는 모양새이다. NorCal Valve를 말하니 그 옛날 NorCal Valve가 디스플레이용 대구경 pendulum valve 제품을 선보여 이를 자사 설비에 테스트하던 때가 기억난다. VAT사가 거의 독점적 지위로 고가 정책을 유지하던 당시 우리 개발팀 Project manager가 그 대안으로 NorCal va..