진공에 대해 알려주마.

리크디텍터(Leak Detector)는 챔버에 누설(Leak)이 발생하는 경우 해당 리크 포인트(Leak point)를 정확하게 찾기 위한 장치이다.반도체/디스플레이 라인의 진공 설비에서 가장 흔하게 사용되는 장치이며 챔버(Chamber)의 펌핑 라인(Pumping line)에 리크 디텍터(Leak detector)를 설치하고 설비 주위에 헬륨가스(Helium gas)를 뿌리고 헬륨 가스에 챔버에 유입되는지를 확인하고 해당 위치를 찾기 위한 도구이다.아래는 동영상은 Pfeiffer vacuum / 보쉬 사에서 제작한 리크 디텍터 영상이다. 이해하는데 도움이 될듯하다. 파이퍼 베큠에서 만든 Leak Detector 원리를 알려주는 동영상https://youtu.be/PHHnySYpyHI 보쉬에서 만든 L..

내가 아는 진공 펌프는 아래와 같이 초강력 고성능 모델이었다. https://hivac.tistory.com/25반도체에서는 펌프 한대를 사용하였으며 디스플레이 설비에서는 2~3대를 묶어서 강력한 빨힘으로 챔버를 펌핑하였다. 챔버를 순식간에 진공 상태로 만든다. 소리도 강력하다. 펌핑하는 소리만 들어도 무슨 작업을 진행하는지 대략 알 수 있다. 최근 광학 검사기를 개발 하면서 그리 세지 않은 진공을 필요로 하는 경우가 있다. 이러한 경우 굳이 하우스 베큠(유틸리티 진공 라인)을 연결할 필요 없이 설비 내에서 진공을 만들어 사용한다. 이러한 경우 공압을 이용하여 저진공을 만들 수 있는 장치가 있다. 광학 검사기에서는 웨이퍼만 Chucking 하는 용도로 사용한다. Vacuum ejector라 불리며 핸들러..