진공에 대해 알려주마.

설비 제어 소프트웨어 엔지니어의 이해 나도 PC를 이용한 장비 제어 소프트웨어를 주업으로 하고 있지만 업계에서 소프트웨어만큼 독특한 직종도 없을 것이다. 타 부서와 잘 어울리지 못하고 그렇다고 지덜끼리 뭉치는 것도 아니고 있는 듯 없는 듯하며 잘하나 싶었는데 대형 사고만 친다. 보통 우리 업계에서는 설비를 만들게 되면 공정 엔지니어의 가이드에 따라 기구 설계에서 설비를 설계하여 부품을 가공하고 조립을 진행한다. 거기에 전장 엔지니어가 의도한 대로 전장 부품에 배치되고 각종 케이블이 연결되어 전기를 투입하게 된다. 전기가 투입된 후 문제가 없다고 판단되면 소프트웨어 엔지니어가 붙어 공정 엔지니어가 의도한 작업 절차(레시피:Recipe)에 따라 장치들이 자동으로 구동하게 만든다. 이후 설비가 출하되어 고객 ..

MELSECNET-G, MNET-G, NET-G 전부 동일한 명칭이다. H는 10H를 뜻하며 10M의 전송 속도를 가지고 요즘 사용되는 NET-G는 100M 속도를 의미한다. MNET, NET-G 카드는 PC당 4개까지 설치되며 ID가 강제 활당 된다. H시리즈는 51~54, NET-G는 151~154로 활당된다. 간혹 이상으로 PC Slot을 옮기는 경우 ID는 재 할당되므로 프로그램에서 ID를 변경하여야 한다. 보통의 PLC에 접근하여 memory의 값을 가져오기 위해서 여러 가지 방법을 제공하는데 일반적으로 사용하는 장치를 이용하여 값을 가져오는 범용의 방법과 해당 메이커에서 유료로 제공하는 장치를 추가하여 값을 가져오는 전용의 방법을 제공한다. MX Component를 PC에 설치하고 lan ca..

설비를 다루면서 예상치 못했던 이상현상에 대해 기록한다. 알고 나면 어이없을 수도 있으나 처음에는 상당히 당황하게 된다. 여기 내용이 조금이나 당신에게 도움이 되었으면 한다. CABLE 케이블 하나가 키보드 트레이 바깥 쪽으로 돌아 포설되어 있다. 트레이 양옆으로는 가이드 레인이 벽면과 체결되어 있다. 아니 왜 이게 바같으로 나와 있는 거야. 그것도 전공정용 양산을 하던 설비가? 보기 흉한데 이걸 어떻게 밀어넣지.. 케이블을 안쪽으로 밀어 넣기 위하여 내부를 살펴보았다. 아마 나중에 추가하면서 케이블을 키보드 틈으로 장시 빼놓고 포설을 한 모양이다. 이를 밀어 넣기 위해서 케이블을 따라가 보았다. 따라가다 보니 220V 인터폰 전원이다. 전원을 내리고 케이블 고정 볼트를 풀러 볼까 하는데 하나의 고정 나..

설비를 다루면서 예상치 못했던 이상현상에 대해 기록한다. 알고 나면 어이없을 수도 있으나 처음에는 상당히 당황하게 된다. 여기 내용이 조금이나 당신에게 도움이 되었으면 한다. RF NOISE RF Generator만 켜면 일부 장치의 CP가 동작하여 차단된다. RF Noise에 의한 CP 차단이다. 한참만에 확인한 결과는 MPD의 Main curcuit OFF이다. MPD의 전원 차단을 모를 수가 있나 하겠지만 GPS만 차단되고 UPS는 정상 공급되고 있었다. 그리고 지상의 설비가 대부분의 전원은 제대로 공급되고 있었다. 일부의 전원만 차단되고 있었다. 확인한 결과 지상의 설비 중 TMP를 제외한 모든 장치는 UPS에 연결이 되어 있었다. 보통의 경우(내가 아는 지식으로는) PC, 일부 컨트롤러만 UPS..

설비를 다루면서 예상치 못했던 이상현상에 대해 기록한다. 알고 나면 어이없을 수도 있으나 처음에는 상당히 당황하게 된다. 여기 내용이 조금이나 당신에게 도움이 되었으면 한다. CDG Voltage hunting 진공 챔버에서 CDG는 APC에 연결되어 사용된다. 특정한 압력을 만들기 위해 챔버에 gas를 흘리고 APC엣 원하는 압력을 전달하면 APC는 CDG의 값을 읽어 APC의 valve의 열림과 닫힘을 조정하여 압력을 조정하게 된다. 셋업 중 APC를 통해서 CDG의 들어온 값이 미친X 널뛰듯(좋은 말은 아니나 현상을 가장 효율적으로 표현하는 것 같아 적어본다) 한다. Maint를 위한 다른 통신 채널을 사용하여도 증상은 동일했다. RF를 사용하지도 않았는데 이러한 현상이 발생한다. 우선 RF Noi..

TwinCAT 내가 사용하는 모델은 TwinCAT-2 시리즈이다. 최근에 TwinCAT-3가 출시되었고 MS의 Visual studio의 개발 환경을 사용한다고 한다. 아래 모델은 현재 설비에 적용되어 사용 중인 두 가지 CX모델이다. TwinCAT I/O Module을 이용한 I/O System을 구성하거나 거기에 PLC를 추가 구성하여 PC와 PLC에서 각각 별개로 I/O를 제어할 수 있다. 보통의 경우 반도체/디스플레이 설비에서는 PC로 설비를 제어하고 PLC로 interlock 또는 motion 제어를 한다. Interlock은 최종 출력을 내보내기 전에 각종 조건을 확인하고 출력을 I/O Module에 활성화할지를 결정한다. 반도체/디스플레이 설비 분야에도 많이 사용되고 있으며 각각의 모듈을 엮..

PLASMA내가 아는 플라스마(Plasma)는 단순 빛이다. 모든 것이 준비된 챔버에 필요한 가스를 흘려 넣고 RF Generator를 켜면 챔버에 밝은 빛이 발생한다. 가스와 RF의 출력에 따라 색깔과 밝기가 다르긴 하지만 파스텔톤의 밝은 빛이다.     프라즈마 이론은 아래의 사이트에 아주 잘 설명되어 있다.https://m.blog.naver.com/jgw1030/221171512475이 빛을 이용하여 기판에 미세한 구멍을 내거나 표면을 깎아내면 Etching, Target의 표면을 뜯어내 기판에 입히면 Sputter, 그리고 가스의 반응을 가속시키는 일도 한다. 여기서는 식각을 주로 이야기하겠다. 프라즈마를 이용하여 식각에 사용되는 단위는 Å (Ångström, 옹스트롬)이고 1 옴스트롬은 아래와..

반도체 공정에서는 대기 중에서 많은 공정이 이루어지지만 생각보다 많은 설비가 진공을 사용한다. 챔버나 용기의 진공 상태를 만들거나 유지하기 위하여 사용되는 펌프를 진공 펌프라 한다. 왜 진공을 유지해야 하는지는 주변 공정 엔지니어에게 물어보라. 여기서는 공기와 공기 중 부유물 모두가 이물질로 취급한다.우리가 사는 대기를 물이라 생각하면 쉽다. 반도체 공정에서는 물이 없는 곳에서 여러 종류의 특수한 물만으로 공정을 진행하고 싶은 것이다. 여기에 가장 기본이 용기 안의 물을 뽑아내는 진공펌프 인것이다. 물을 뽑아 제거하고 사용하고자 하는 특수한 물을 일정하게 흐르도록 하는 압력을 낮추는 역할을 한다. 다양한 진공 펌프를 사용하고 있으나 가장 대표적인 것이 저 진공 펌프인 dry pump와 고진공 펌프인 TM..

DRY-ETCHER (드라이 에쳐, 건식 식각 장치) 내가 가장 많이 다룬 설비가 드라이에쳐 이다. 반도체와 디스플레이용 제어 프로그램을 개발하였다. 주로 공정 챔버용 제어 프로그램을 개발하였다. 설비의 핵심은 공정 챔버다. 디스플레이 쪽에서는 글라스 반송 업무(물류)도 중요한 업무로 보고 있다. 200mm 반도체 제조 공정용 dry etcher를 시작으로 하여 display의 대면적 dry etcher까지 크기, 공정, TACT 등의 확장을 거듭하여 발전하였지만 제품 생산을 위한 공정의 기본은 거의 유사하다. 양산용 진공 설비는 진공을 사용하는 장비가 가지는 가장 기본적인 클러스터 구조(Cluster system)를 가진다. 공정 챔버가 진공을 유지함으로 진공 반송 장치와 대기와 진공을 손쉽게 하여 공..

요즘 학교에서 코딩 교육을 한다고 한다. 아두이노를 기반으로 한 마이크로컨트롤러와 센서를 연결하고 여기에 프로그래밍하여 원하는 기능을 수행토록 하는 것이다. 아두이노는 마이크로 컨트롤러를 사용하고 센서를 연결하고 마이크로 컨트롤러에 프로그램을 다운로드하여 기능을 수행하게 된다. 여러가지 교육용 센서들이 있어 어떠한 환경을 인식할 것인지를 결정하고 그에 해당하는 센서를 연결하고 마이크로 컨트롤러에 프로그램으로 해당 센서에서 값을 가져와 처리하면 된다. 인터넷 상에 굉장히 많은 예제가 있어 이를 응용하여 원하는 기능을 구현할 수 있다. 또한 라즈베리파이는 싱글보드 컴퓨터이다. 싱글보드 컴퓨터는 한개의 보드로 구성된 컴퓨터 메인 보드이다. 여기에 모니터, 키보드, 마우스, 전원을 연결하면 말 그대로 컴퓨터가 ..