:: 진공에 대해 알려주마.

설비에서의 MODBUS 모두버스는 장치간의 통신을 원할히 하기 위해 제공되는 표준 프로토콜 이다. 하나의 네크워크에 여러 종류의 장치들이 사용 된다고 하면 각각의 장치에 맞는 배선과 통신 프로그램을 사용해야 한다. 이러한 불편함을 최소화하기 위하여 장치 메이커들이 모여 발표한 많은 표준 통신규격 중에 가장 대표적인 규격이 모두버스 이다. 설비에서는 장치에서 필요로 하는 정해진 프로토콜만을 사용한다. 현재의 온도를 읽거나 출력값을 쓰거나 하는 것이다. 특히 PLC와의 통신은 더욱 규격화되어 있어 하나의 함수만 잘 구성하면 변경 없이 사용하는 장점이 있다. 이번에는 별도로 입력을 담당하는 모듈을 여러개 사용하여 장치를 제어하는 프로그램을 만들다 보니 디바이스 드라이버부터 다시 구성해야 했다. 그래서 이것저것..

출장 전 시간이 좀 되는데 PC를 이용하여 실내 온도를 읽어보고자 한다. 시리얼 통신으로 포맷은 MODBUS-RTU를 지원하는 보드를 사용하였다. 사람이 실내의 온도를 읽기 위해서는 온도계를 필요로 한다. 온도계를 온도를 측정하고 쉽은 곳에 설치하고 눈으로 온도계의 눈금을 읽어 현재 온도를 확인할 수 있다. 하지만 PC를 이용하여 온도를 읽고자 할 때는 다음과 같은 몇 가지 장치가 필요하다. 온도 변화를 인식하고 이를 계산하여 디지털화 할 수 있는 장치가 필요하다. 온도를 전기적 신호를 변환할 수 있는 온도 센서 (Thermistor, thermocouple, RTD) 센서에서 변환된 신호를 Voltage 등으로 변환할 수 있는 모듈 (AD Converter) 보드에서 읽은 값을 PC가 읽을 수 있도록 ..

RS-232 시리얼 통신우리가 RS-232 통신에 대해서 관심을 갖는 이유는 가장 간단한 구조이며 손쉽게 하드웨어를 구성할 수 있는 장점이 있어서가 아닌가 한다.자세한 이론은 잘 정리된 것이 많다. 이 페이지 맨 아래에 링크를 참고하시기 바란다.데스크톱 PC에는 기본 설치되어 있으며 (USB Port로 대체되어가고 있기는 하지만..) 노트북 PC에는 저렴한  Converter를 설치하여 통신을 시도해 볼 수 있다. 무엇보다도 기존의 많은 장치들이 RS-232 시리얼 통신을 지원한다는 것이다.   쉽게 구할 수 있는 D-SUB Connector와 세 가닥의 케이블만 있으면 PC끼리 아니면 PC와 컨트롤러와 바로 통신이 가능하기 때문이다. 지금은 다른 통신 방식의 발전으로 통신 방식의 전환이 빠르게 진행되고..

압력을 측정하여 시각화하거나 숫자로 표시해 주는 장치를 압력 게이지라고 한다. 이것이 업계에서는 어떻게 사용되는지 알아본다. 위와 같이 공급되는 압력을 바늘과 눈금으로 보여주는 압력 게이지가 있는가 하면 장치를 이용하여 압력을 측정하고 측정된 값을 통신을 통하여 원하는 곳에 전달해 주는 전자식 게이지가 있다. 위의 사진은 Pfeiffer사의 압력 게이지이다. 위의 적색 게이지는 Pirani gauge이고 아래의 백색은 Ion gauge로 고진공의 압력값을 읽는 장치이다. 그리고 이 페이지 맨 아래 사진에 보면 CDG(Capacitance Diaphragm Gauge)로 불리는 공정 중 챔버의 압력을 정확히 측정하는 정밀 게이지로 구성된다. Pirani gauge는 늘 그렇듯 Pirani 선생이 개발한 게..

by BOT반도체 혹은 디스플레이 업계에서 장비 제조를 시작하여 어느 정도 규모로 성장하게 되면 가장 걸림돌이 되는 부분이 제어 부분이다.많은 회사들이 장비 개발을 위하여 설계, 전장, 제어 그리고 공정으로 업무를 분장하게 된다. 가장 큰 역할을 하는 것은 역시 설계업무이다. 하드웨어가 구성이 되어야 그 나머지도 존재하게 되기 때문이다. 하드웨어 설계는 초기에 가장 많은 업무 로드(load)가 발생하지만 고객사 납품 후 설비가 안정화될수록 업무가 줄어들기 마련이다. 전장 업무는 있는지 없는지 중요한 것 같으면서도 아닌 것 같기도 하고 가장 비중이 낮은 업무일 수 있으나 없어서는 안 될 부분이기도 하다.제어는 설비 설계 초기 부터 무언가 바쁘게 하는데 성과는 없고 장비 따라 나가더니 복귀할 생각은 안 하고..

MX Component가 설치되면 C: \MELSEC 디렉터리에 있는 아래의 두 개 파일을 사용해야 한다. 이 프로그램을 다른 PC에서 사용한다고 해도 MX Component를 해당 PC에 설치해야 한다. C:\MELSEC\Act\Control\ActEther.dll C:\MELSEC\Act\Control\ActUtlType.dll 1. 선언 C# Windows Forms 응용프로그램으로 프로젝트를 생성한다. 그리고 위의 두개 파일을 참조 추가하여 참조에 등록한다. 2. 전역 변수 선언 위의 두개 파일을 참조에 추가하면 ActUtlTypeLib를 사용 할 수 있다. MELSEC에서는 PLC Access를 위하여 Prog type과 Utl type 두 개 타입을 제공하는 두개의 차이는 좀더 확인 후 다시 ..

MFC (Mass Flow Controller) 반도체/디스플레이 제조 장비에 사용되는 장치 중 중요한 부분을 차지하는 MFC를 소개한다. 많은 장비에서 사용되지만 Etch, CVD 공정에서는 핵심 장치 중 하나이다. 장치의 기본 원리는 바람이 불어 기온이 내려가는 현상을 이용한다. 금속관에 입구와 출구에 온도계를 달고 바람(가스)를 통과시키고 통과할 때 발생한 입구와 출구의 온도차를 이용하여 흘러간 양을 계산해 낸다. 계산된 값으로 밸브를 조절하여 일정한 유량만 흐르게 조정하게 된다. MFC는 입구와 출구의 온도 차이를 계산하기 방식으로 한쪽으로 흘려야 되므로 방향성을 가지게 된다. 또한 가스의 종류에 따라 온도가 내려가는 비율이 다르기 때문에 가스마다 다른 MFC를 사용하거나 MFC의 재설정하여 사용..

1. ETCH PROCESS Etch process는 구성된 막을 균일하게 또는 PR로 마스킹된 패턴을 깎아 내는 작업을 진행하는 공정이다. 반도체, 디스플레이에서 Etch process는 아래 애니메이션의 구조를 가진다. 여기에 RF를 어떻게 구성하느냐에 따라 여러 가지 이름으로 불리지만 기본 구조는 거의 유사하다. 반도체서는 웨이퍼(200mm, 300mm 등)를 디스플레이에서는 글라스(2세대, 5세대, 7세대, 8세대)의 공정을 진행하기 위하여 크기에 따른 챔버를 구성하고 고진공을 위한 TMP(Turbo-Molecular Pump)와 Pressure 제어가 가능한 APC(Automatic Pressure Controller)등으로 Vacuum system을 이루게 된다. 고진공 펌프는 TMP, CRY..

아래 내용은 EtherNet을 이용하여 미쓰비시 PLC에 접근하기 위하여 MX Component를 사용하였다. MX Component를 이용하는 이유는 원격에서 ethernet을 이용하여 PLC에 접근할 수 있으며 메모리 전 영역을 접근할 수 있다. NetG 보드를 사용 하는것 보다는 상대적으로 느리긴 하지만 아무런 하드웨어 추가 없이 접근이 가능하다는 장점이 있다. NetG를 이용하면 Link reflash로 불리는 접근 영역의 한계가 있다. 빠르게 많은 station을 연결하다 보니 제한을 두고 사용하는 것 같다. NetG를 이용하여 제한없이 PLC에 접근하려면 MX Component를 설치하고 이를 통해 access 하면 가능하다. 만일 제어 PC 혹은 NetG(NetH) 보드가 설치된 경우라면 아..

RS-232 Serial 통신1과 2에서 PC와 장치간의 RS-232통신에 필요한 것과 테스트 방법을 설명 하였다. 여기에는 실제 프로그래밍 툴과 장치와의 통신을 시도해 보겠다. 테스트 프로그램으로는 매뉴얼에 주어진 간단한 명령을 보내 잘 동작 하는지를 확인하는 과정이고 여기에서는 그럼 명령들을 응용하여 화면을 폼나게 꾸미는(응용 프로그램을 만드는) 과정을 보여 줄 것이다. 테스트 환경은 다음과 같다. C# 을 이용한 RS-232 통신 문자열 표시 LCD 디스플레이 1. 시작 앞에서 연결한 통신 장치를 그대로 사용한다. C#과 RS-232통신을 사용하여 LCD창에 원하는 글자는 물론 주어진 명령을 사용하여 응용 프로그램을 개발한다. 이 과정은 장비 개발과 같은 방식이며 장치를 이해하고 주어진 명령어를 이..