INDEX

INDEXER

진공설비(Dry etcher)를 셋업 하면서 글라스를 loading해 주는 인덱서 셋업도 지원하였다. 현장에서는 Phase별로 통신 규격이 조금씩 달라 이걸 해결 하기 위하여 테스트를 진행 후 사이클을 진행 중이다.  

Display 분야에서 indexer는 카세트에서 Glass를 한 장씩 꺼내 설비에 투입하는 장치 전체를 이르는 말이다. 아래 동영상에서는 5.5세대 사이즈로 1300x1500mm 정도이다. 내가 주력으로 했던 설비는 8세대로 2200x2500mm이다.

인덱서는 반도체의 EFEM역할이다. 카세트에 담겨 온 glass를 정해진 순서에 의해 설비에 투입하는 장치이다. 반송 로봇이 핵심 장치이고 나머지는 별로 기능이 없다. 화면 앞에 움직이는 장치는 glass의 표면에 먼지를 제거하는 cleaner설비이다. 

반도체 설비를 제작할 때는 EFEM의 제어까지 모두 설비에서 진행한다. 그리 복작하지도 않았고 쉽게 제어하였지만 디스플레이는 indexer라 하여 별도의 회사가 운영하고 Hot line, PIO라고 하고 지정된 hand shaking scenario 절차에 따라 glass를 투입 받게 된다.

Indexer와의 통신은 미쓰비시의 melsec을 통하여 진행하였으며 내가 할당 받은 영역에 data를 쓰고 다른 설비(station)의 값을 읽어 정보를 얻어 오는 구조다. 사용법이 아주 간단해서 설비간 통신에는 아주 그만이다. 단순한 만큼 융통성이 부족한건 참을만 하다. 

종속형이라 하여 반도체 스타일로 indexer를 설비에서 직접 제어하기도 하나 그 비율이 적다. 디스플레이 특성상 복잡한 path를 가진 설비보다는 챔버 하나씩을 독립적으로 운영하다 보니 indexer를 집적 관여하지 않고 glass만 받아 처리하는 것이 설비에서는 효율적이고 간편한 구조를 가지게 된다.

전에 반도체 쪽에서 디스플레이 인덱서를 흉내 내어 반도체 EFEM을 단일 모델로 공급하고 거기에 각 회사의 설비를 붙여 사용하려는 시도가 있었다. 하필 그 시도가 내가 담당하던 반도체 설비였다. 결국 무산되기는 하였으나 반도체 설비는 EFEM이 설비에 특화되어 이를 하나의 플랫폼으로 가져가기는 불가능할 것이다.