진공에 대해 알려주마.

INDEXER 진공설비(Dry etcher)를 셋업 하면서 글라스를 loading해 주는 인덱서 셋업도 지원하였다. 현장에서는 Phase별로 통신 규격이 조금씩 달라 이걸 해결 하기 위하여 테스트를 진행 후 사이클을 진행 중이다. Display 분야에서 indexer는 카세트에서 Glass를 한 장씩 꺼내 설비에 투입하는 장치 전체를 이르는 말이다. 아래 동영상에서는 5.5세대 사이즈로 1300x1500mm 정도이다. 내가 주력으로 했던 설비는 8세대로 2200x2500mm이다. 인덱서는 반도체의 EFEM역할이다. 카세트에 담겨 온 glass를 정해진 순서에 의해 설비에 투입하는 장치이다. 반송 로봇이 핵심 장치이고 나머지는 별로 기능이 없다. 화면 앞에 움직이는 장치는 glass의 표면에 먼지를 제거하..