진공에 대해 알려주마.

1995년 이 업계에 뛰어들 당시 윈도우95와 인터넷의 보급으로 새로운 세상으로 변화되고 있었다. 당시 처음으로 팀에 소속되어 시작한 프로젝트가 국내 최초의 전공정 양산 라인에 투입된 200mm 드라이에쳐(DRY-ETCHER) 머신이었다. 이 설비는 200mm 반도체 웨이퍼용이며 제어 콘트롤러로는 VME Bus를 사용한 PEP BOX와 OS는 UNIX 계열의 OS-9를 사용하여 공정 챔버(Process chamber)를 제어하고 이런 공정 챔버 3개를 묶어 CTC가 운영하는 형태였다. CTC는 MS-DOS 기반으로 운영되었다. 용어 설명은 다른분이 작성한 내용을 참고 하시길... 참고문서 http://www.techbase.co.kr/ControlSW.html 당시 기술로는 UNIX 계열의 OS와 DOS..