진공에 대해 알려주마.

설비에는 많은 유틸리티가 공급된다. 이는 설비가 온전히 동작할 수 있도록 하는 가장 기본적인 구성이다. 설비 제어 프로그램 중 가장 중요한 것 중 하나가 이런 유틸리티를 모니터링하여 압력이 떨어지는 등의 문제가 발생하는 경우 알람을 발생시키고 안전 조치를 취하는 것이다. 공정용으로 공급되는 것을 제외한 설비에 공통적으로 공급되는 유틸리티는 다음과 같은것이 있다. 그리고 당연하겠지만 설비를 셋업 하기 위해서는 유틸리티 공급이 가장 먼저 이루어져야 한다. CDA (Clean Dry Air) 수분이나 이물질이 없는 압축된 공기를 말하며 밸브 혹은 구동 장치를 움직이는데 사용한다. N2 (Nitrogen) 산화 가능성이 있는 곳에 CDA를 대신하여 사용 (공정을 위한 순수 N2는 PN2로 별도 공급) PCW (..