진공에 대해 알려주마.

오산에서 오랫동안 있었으면서 나도 모르고 있던 오산의 맛집이 있었으니 그곳은 다룡짬뽕!!!https://place.map.kakao.com/1289188781#review홀은 그다지 넓지 않고 허름해 보인다. 하지만 메뉴를 적은 메뉴판을 보면서 평범치 않음을 느낀다. 짜장과 짬뽕 그리고 군만두, 탕수육이 전부이다.짬뽕밥을 먹었다. 특이하게  커다란 계란 프라이가 얹혀 있다. 모양이 특이하고 가격도 저렴하다. 결정적으로 맛이 좋다. 더 이상 무슨 말이...  메뉴나 음식의 사진은 아래를 참고하시라...https://place.map.kakao.com/1289188781#review그리고 한 가지 주방에서 음식을 만드시는 분들이 과거에 사연이 많으신 듯하다.

와이파이 무선 카메라 카메라 접안렌즈에 설치하여 망원경을 계속 들여다볼 필요가 없다.  Wifi로 핸드폰, 패드등으로 연결하여 화면을 모니터링할 수 있다. 다양한 용도로 사용 가능할 것 같다. 집 앞에 있는 조그만 호수에 온갖 철새가 방문한다. 새를 관찰하는 쏠쏠한 재미가 있다. 그것도 원격으로 편하게 ... 해당도는 2K라고는 하나 생각보다 화질이 조금 떨어지는 ... 하지만 그리 나쁘지 않아 사용하는데 만족한다.  아래 그림과 같이 망원경에 이 제품을 설치하고 새를 조준한뒤 패드에서 화면을 볼 수 있다. 새가 움직이는 대로 손으로 마원경을 조정하여 맞추면 보다 쉽게 관찰할 수 있다. 망원경에 줌 기능이 있어 이를 낮추면 더 넓은 면적의 화면을 볼 수 있다.    사용 방법은 아래와 같이 망원경 접안 ..

EFEM (Equipment Front End Module)은 말 그대로 설비 앞쪽에 설치된 장치이다. FOUP에 들어있는 웨이퍼를 한 장씩(혹은 여러 장) 꺼내어 공정 설비 혹은 측정 설비에 투입하는 장치를 말한다.EFEM에 대한 정보는 아주 많다. 특히 유튜브에 찾아보면 동영상을 비롯하여 자사의 홍보 영상까지 자세히 설명되어 있다. 여기서 따로 설명하기에는 자료도 없다. 하지만 얼마 전 EFEM을 제어하게 되어 정리하는 정도를 설명을 해 본다. 시간이 되면 KT의 EFEM의 제어 프로그램을 올려 볼까 한다. 반도체 칩 생산 라인의 생산 기본 단위는 웨이퍼이다.  설비에서는 웨이퍼 단위로 공정을 진행하지만 설비 간 이동은 FOUP에 담겨 고속 이동하게 된다. https://www.youtube.com/..

모터에 대한 이해의 깊이를 더하고자 공부를 해 본다. AOI 등에 사용하는 모션의 경우 전장에서 ACS, PMAC 컨트롤러에 배선을 꾸미고 제어는 ACS, PMAC등에 통신으로 연결하여 모션을 제어하게 된다. ACS, PMAC의 경우는 PC와 EtherNet으로 연결하여 명령을 주고받아 모션을 제어하게 된다. 모터에 감속기를 연결하고 필요한 구동부를 움직이게 된다. 제어에서는 수치로만 명령하기 때문에 실제 물리적인 부분을 깊숙하게 이해하지는 못한다.이참에 모터에 대해 대략 알고 있는던 것들에 대해 이해를 깊게 하고자 다음과 같이 자료를 확보하고 실제 모터를 구동하여 차후 모션에 대한 이해를 한층 높이고자 한다.    우선 기본적인 자료 조사를 시작한다. 아래는 모터에 대해 아주 잘 설명한 페이지들이다.모..

"This protocol uses a 16 bit CRC (CRC-CCITT (0xFFFF), nonreflected)." 통신 프로그램을 만들려고 보니 이렇단다. 뭐지 기존에 내가 알던 CRC(Cyclic Redundancy Check)랑 뭐가 다른 거지. 그 뒤에 붙어 있는 CCITT는 또 뭐야!! 결론은 내가 사용하던 것이 그것이고 메뉴얼에 첨부된 계산법을 이용하여 프로토콜을 만들고 하다 보니 CRC에 관련한 자세한 내막을 몰랐던 거였다. CRC를 계산하는 아주 많은 method가 존재한다. 그중에 하나인 것이다. 그리고 CCITT (Consultative Committee on International Telegraphy and Telephony, 국제전신전화 자문위원)는 규격 중 하나를 만든 ..

진공 설비에는 반드시 압력게이지(Pressure gauge)가 설치되어야 한다. 공정을 위한 챔버 혹은 버퍼 챔버등의 압력을 확인하기 위해서는 반드시 설치되어야 하는 필수템이다. 챔버의 압력이 낮으면 챔버를 손으로는 열 수 없으며 공압등의 실린더를 이용하여 열게 되면 엄청난 충격으로 챔버 내부에 파츠를 손상시킬 수 있다. 챔버에 웨이퍼나 글라스가 있다면 충격파로 형체를 알아보기 어려울 정도로 파손될 것이다. 챔버와 대기의 Gate door, 챔버와 챔버 사이의 gate door 등 두 공간을 격리하는 isolation valve를 구동하기 전에는 무조건 상호 압력을 확인하고 두 공간의 압력차를 최소화하여야 한다. 제어에서는 압력의 차이를 파라미터로 두고 두 공간의 압력차이가 설정치 이하일 때만 door를..

AOI(자동광학검사기) 셋업을 진행하였다. 2세대 글라스, 8세대 글라스, 6세대 마스크, 300mm 웨이퍼 등 여러 종류의 검사기 셋업을 경험하였다. 내가 생각하는 AOI 설비는 모션 제어와 카메라 제어가 전부라 해도 과언이 아닌 것 같다. 다른 분야에서는 아니라고 할지도 모르겠지만... 카메라는 비전 엔지니어가 별도로 셋업과 셋팅 그리고 테스트를 진행하고 관리한다. 카메라에 능하고 이미지 처리에 특화되어 고급 인력으로 분류된다. 그리고 좋은 대접을 받는다. 그 외 모든 부분은 제어(Software) 엔지니어가 처리한다. 카메라당 한대의 비전 PC를 운영하며 이 모든 연결은 소켓 통신을 주로 사용하여 신호와 데이터를 주고받는다. 제어는 웨이퍼나 글라스 꼭 잡아 고속으로 이동하며 비전 카메라가 원하는 스..

MODBUS-TCP를 사용한다. C++인 경우에는 "libModBus"를 사용해 보시고 여기서는 C#으로 ... EtherNet을 사용하여 통신하는 IO Module을 사용하게 되었다. 통신 프로토콜은 Modbus TCP를 사용한다. 메뉴얼을 보고 통신 패킷을 구성하여 값을 읽고 쓰기 검토하였다. 소켓 구성하고 패킷 작성하고 리턴 밸류 파싱하고 귀찮다. 그냥 다운로드하여 쓰자. 간단한 것으로 검토하여 C#용 SharpModBus를 사용하기로 하였다. 보기에는 간단해 보였다. NuGet 패키지 관리로 다운받아 설치하고 아래와 같이 선언하고 포트를 열어 바로 사용하면 가능하다. Digital(Coil)은 bool로 처리하며 Analog(Register)는 unsigned short으로 읽고 쓰면 된다. 거의..

ESC (Electro-Static Chuck, 정전척)는 웨이퍼나 글라스를 물리적인 방법이 아닌 정전기를 이용하여 고정하는 장치다. 물리적인 방법으로 고정하는 방식은 접촉을 기본으로 하는 방식이라 재료에 흠집을 내거나 기체의 흐름을 방해하기도 한다. 또한 공정 챔버 내부에 구동하는 부분이 많아지면 파티클(particle)과 고장에서 자유로울 수 없다. 이러한 단점을 극복하기 위하여 정전척(ESC)을 사용한다. 더욱이 대면적 글라스의 경우에는 글라스를 효율적으로 잡을 수 있는 방법이 없다. ESC가 유일한 방법이다. 그렇지 않으면 긴 세라믹 막대로 글라스의 패턴을 피해  가로 질러 눌러 줘야 한다. 이는 많은 구동부가 필요하며 앞에서 말한 단점을 가지게 된다. ESC의 구조는 이해는 하고 있으나 설명하기..

요즘은 윈도우를 기본으로 하여 설비 제어 프로그램을 구성하게 된다. 요즘 윈도우는 매우 안정적이라 OS가 Down 되는 경우가 거의 없지만 이전에는 일주일이 멀다 하고 죽어 나갔다. OS가 문제인 경우도 있었으며 제어 프로그램이 문제가 되는 경우도 있다. 이런 경우 가장 문제가 되는 것은 출력 제어이다. 출력이 나가는 상태에서 OS나 프로그램이 죽으면 출력은 그대로 유지된다. 특정시간 동안 진행되어야 할 공정이 시간을 초과하게 된다. 이때는 웨이퍼는 물론이고 설비의 하드웨어까지도 손상을 줄 수 있다. 제어 해야할 장치가 아래와 같다. 동작중 PC가 다운되면 즉시 적절한 조치가 취해져야 한다. 특히 식각(Etching)은 즉시 멈추도록 해야 한다. 프로그램을 사용 중에 OS 혹은 제어 프로그램이 원인이 되..