:: 진공에 대해 알려주마.

EFEM (Equipment Front End Module)은 말 그대로 설비 앞쪽에 설치된 장치이다. FOUP에 들어있는 웨이퍼를 한 장씩(혹은 여러 장) 꺼내어 공정 설비 혹은 측정 설비에 투입하는 장치를 말한다.EFEM에 대한 정보는 아주 많다. 특히 유튜브에 찾아보면 동영상을 비롯하여 자사의 홍보 영상까지 자세히 설명되어 있다. 여기서 따로 설명하기에는 자료도 없다. 하지만 얼마 전 EFEM을 제어하게 되어 정리하는 정도를 설명을 해 본다. 시간이 되면 KT의 EFEM의 제어 프로그램을 올려 볼까 한다. 반도체 칩 생산 라인의 생산 기본 단위는 웨이퍼이다.  설비에서는 웨이퍼 단위로 공정을 진행하지만 설비 간 이동은 FOUP에 담겨 고속 이동하게 된다. https://www.youtube.com/..