진공에 대해 알려주마.

지난번 GAS VALVE 편에서는 밸브가 동작하는 원리를 설명하였다. 여기서는 실제 밸브의 이미지를 살펴보겠다. 원리는 아래 주소를 참고하시라. hivac.tistory.com/40 여기에서는 실제 밸브 이미지를 사용하여 반도체/디스플레이의 진공 설비에서 사용하는 공압 밸브에 대해 이야기해 보겠다. 업계에서 사용하는 밸브 후지킨(Fujikin), Veriflo, CKD 등이 있다. 밸브는 크기와 모양이 메이커마다 제각각이다. 하지만 전체적인 외관은 위의 이미지와 비슷하다. 구동부와 몸체 부분으로 구성된다. 구동부(Actuator)는 스프링과 구동축으로 구성된다. 스프링이 구동축을 눌러 다이어프램을 닫히게 하는 상태가 기본 상태이다. 여기에 공압을 가하게 되면 구동축을 밀어 올려 다이어프램(Diaphrag..