일 | 월 | 화 | 수 | 목 | 금 | 토 |
---|---|---|---|---|---|---|
1 | 2 | |||||
3 | 4 | 5 | 6 | 7 | 8 | 9 |
10 | 11 | 12 | 13 | 14 | 15 | 16 |
17 | 18 | 19 | 20 | 21 | 22 | 23 |
24 | 25 | 26 | 27 | 28 | 29 | 30 |
Tags
- Gas box
- 시리얼통신
- Dry etcher
- Helium
- MODBUS
- 폴링
- 레귤레이터
- 가스
- gauge
- PMAC
- CDG
- REGULATOR
- 드라이에쳐
- cluster
- 맛집
- MFC
- rs-232
- rs-485
- HI-Vacuum
- MelsecNet-G
- ATM
- 설비제어
- RS232
- hivac
- Polling
- VACUUM
- pressure
- melsec
- esc
- ION Gauge
Archives
- Today
- Total
목록밴트 (1)
:: 진공에 대해 알려주마.
릴리프밸브 (RELIEF VALVE)
릴리프 밸브(Relief valve)는 안전밸브 정도로 해석할 수 있겠다.챔버 또는 용기가 가압되는 경우 특정 압력 이상 도달하면 강제 개방하여 챔버가 가압으로 폭발하거나 파손되는 것을 방지하고 내부의 파츠를 보호하는 기능을 하는 안전장치이다.진공 설비의 제어 프로그램을 개발할 때에는 제어가 전혀 관여하지 않는 순수 하드웨어 제품이다. 최후의 보루인 것이다. 하지만 센서 고장이나 게이지 오류 혹은 PC Down으로 ovet vent 되는 경우 동작할 것이다. 그럼 안전밸브의 역할은 무엇인가? 말 그대로 안전을 위한 최종 관문 역할을 한다. Vent 중에 오류등으로 과하게 vent 되는 경우 이 밸브가 동작하여 over vent를 막아준다.챔버가 과하게 vent 되면 챔버 내부 파츠에 충격을 준다. Up..
진공/장치
2024. 9. 2. 22:46