T-Bench

 

RPS를 수리하는 업체와 협업을 진행 하였다. RPS를 수리 후 검증하기 위하여 실제 설비와 같은 환경을 구성하여 정상 수리 여부를 판단하고 출력을 Calibration하는 테스트 장비를 제작하게 되었다. 

드라이 펌프까지 제어가 가능한 완전 자동 테스트 벤치 머신 이다. 자동, 수동, 레시피, 파라메터, 히스토리를 제공한다.

 

T-Bench

 

 

 

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반도체 설비

 

이전에 제작 하였던 설비로 이것에 비해서는 약소(?)하지만 Process recipe를 작성하여 다양한 가스의 MFC와 Pressure control을 하며 RF를 제어하는 설비이다. 

Vacuum, Gas, Pressure, Chamber, RF, Plasma, Vaffle, Pump, Valve, ATM, CDA, PCW 등 테스트 설비 이지만 전공정 설비와 유사한 공정을 가진다.

설비는 RPS(Remote Plasma Source)의 성능을 검증하기 위한 테스트 벤치로 RPS가 사용되는 설비의 공정 환경을 동일하게  구성하고 RPS의 출력 제어로 matrix test를 가능하게 한다.

여기서 발생되는 문제를 검증하고 다시 조치 후 정상화 하기 위한 검증 설비다. 또한 RF Generator의 power calibration을 3 step 방식으로 즉석에서 처리 할 수 있으며 RPS의 현장 수리도 지원 가능케 한다. 

아래 이미지는 RP를 연결하여 Plasma ignition test를 진행중인 모습니다.

 

Remote Plasma

 

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진공과 RF등을 사용하는 설비를 제작하기 위해서는 아래와 같은 과정을 거치게 된다. 

 

1. 고객 요청 사항 파악

T-Bench의 목적은 양산 라인에서 사용하는 RPS의 기능 이상 여부를 확인하기 위함이다.
테스트를 위해서는 양산 설비와 동일한 환경을 제공해야 한다.
고객의 니즈에 맞추어 수동, 반자동, 완전 자동으로 구성된 UI를 제공하여 원하는 테스트를 진행 할 수 있도록 지원한다.
설계에서 제어까지 고객이 원하는 대부분의 기능 구현 가능 하며 모든 장치의 수동 작동이 가능하다. 

 

2. 양산 설비의 특성 추가

반도체 라인에서 제공하는 화면과 같은 기능의 화면 제공
수동에서 반자동, 완전자동 운전 가능
레시피에서 구현한 순서에 따라 설비 운용 가능
사용자 친화적 화면 제공과 명확한 기능의 버튼 제공으로 사용자 편의성을 극대화
화면에서 모든 동작이 가능한 메이트 화면 제공

강력한 히스토리 기능 제공
데이타 로그는 물론 이벤트 로그와 확대, 축소 등이 자유로운 데이타 그래프를 제공

3. 손쉬운 사용을 위한 설계

작은 사이즈로 손쉬운 설치, 사용자 편의를 위한 리프터, 레시피만 선택하면 되는 풀 오토 기능 제공

 

 

4. Full auto recipe 제공

 

자동 제어를 위한 Process Recipe

 

5. 기타 

테스트 진행중 발생하는 열을 제어하기 위한 쿨링 운용

Cooling test

 

프라즈마 테스트

Plasma by RPS